一种半导体检测装置制造方法及图纸

本技术公开了一种半导体检测装置，包括：操作台，所述操作台的上安装有显微镜，所述操作台的顶部对称安装有两个探头底座，所述探头底座上安装有探针，所述显微镜位于两个所述探头底座之间，所述探头底座上分别开设有凹槽Ⅰ和凹槽Ⅱ，所述探针的外部贯穿所述凹槽Ⅰ和所述凹槽Ⅱ的内部，所述凹槽Ⅰ和所述凹槽Ⅱ的内部弹性连接有两个弧形板；本技术通过温度传感器能够实时监测探针的温度，当探针的温度异常时，控制器启动冷却器，使冷却器对探针的温度进行控制，降低探针将热量传递到被检测半导体的情况出现，从而能够对探针和被检测半导体进行保护，提高检测半导体的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体的检测，具体地涉及一种半导体检测装置。

技术介绍

1、半导体检测是指对半导体器件进行各种测试和分析，以确保其质量、性能和可靠性符合预期要求。

2、操作台通常被用于半导体的测试和检测过程中。操作台是一种设备，具有固定的工作平台和可调节的探针位置，用于将探针与待测半导体器件进行接触，并进行电性能测试、信号采集、功能验证等操作。

3、然而操作台在对大批量的半导体进行检测时，探针头部与被测试的半导体样品接触并进行测量，这个接触过程会导致一定程度的能量转化为热量，使探针头部的热量传导到被测试的半导体样品上，导致样品的温度升高，从而会影响半导体的电阻、导电性和其他电学特性，进而对测试结果产生影响，为此提出一种半导体检测装置。

技术实现思路

1、本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。

2、为此，本技术的一个目的在于提出一种半导体检测装置，包括操作台，所述操作台的上安装有显微镜，所述操作台的顶部对称安装有两个探头底座，所述探头底座上安装有探针，所述显微镜位于两个所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体检测装置，包括操作台(10)，所述操作台(10)的上安装有显微镜(13)，所述操作台(10)的顶部对称安装有两个探头底座(11)，所述探头底座(11)上安装有探针(12)，所述显微镜(13)位于两个所述探头底座(11)之间，其特征在于：所述探头底座(11)上分别开设有凹槽Ⅰ(22)和凹槽Ⅱ(23)，所述探针(12)的外部贯穿所述凹槽Ⅰ(22)和所述凹槽Ⅱ(23)的内部，所述凹槽Ⅰ(22)和所述凹槽Ⅱ(23)的内部弹性连接有两个弧形板(14)，两个所述弧形板(14)套接在所述探针(12)的外部，所述弧形板(14)的内部安装有冷却器(16)；

2.根据权利要求1所述...

【技术特征摘要】

1.一种半导体检测装置，包括操作台(10)，所述操作台(10)的上安装有显微镜(13)，所述操作台(10)的顶部对称安装有两个探头底座(11)，所述探头底座(11)上安装有探针(12)，所述显微镜(13)位于两个所述探头底座(11)之间，其特征在于：所述探头底座(11)上分别开设有凹槽ⅰ(22)和凹槽ⅱ(23)，所述探针(12)的外部贯穿所述凹槽ⅰ(22)和所述凹槽ⅱ(23)的内部，所述凹槽ⅰ(22)和所述凹槽ⅱ(23)的内部弹性连接有两个弧形板(14)，两个所述弧形板(14)套接在所述探针(12)的外部，所述弧形板(14)的内部安装有冷却器(16)；

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测装置，其特征在于：两个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周脉强，
申请(专利权)人：徐州里程碑智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：