【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学扫描成像的领域，尤其是涉及一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统。
技术介绍
1、目前，光学扫描成像是一种使用光学原理进行图像获取和展示的技术。它通过光学装置扫描目标物体表面的光信号，并将其转换为电信号，最后再将电信号转化为可视化的图像。其广泛应用于科学研究、工业制造和医学诊断等领域。
2、在光学扫描成像中，常用的设备包括激光扫描仪、扫描电子显微镜和扫描探针显微镜等。
3、针对上述中的相关技术，专利技术人认为存在有以下缺陷：在光学扫描成像中，视场边缘容易畸变，导致扫描区域图像质量低。
技术实现思路
1、为了减少视场边缘的畸变，以提高扫描区域图像的质量，本申请提供一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统。
2、本申请提供的一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，采用如下的技术方案：
3、一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，包括第一激光器、扫描组件、光束收集组件与第一光电探测器，所述第一激光器用于提供激光，...
【技术保护点】
1.一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：包括第一激光器（100）、扫描组件（200）、光束收集组件（300）与第一光电探测器（400），所述第一激光器（100）用于提供激光，所述扫描组件（200）包括第一检流计振镜（203）、第二检流计振镜（204）与共振振镜（205），所述第一检流计振镜（203）用于接收所述第一激光器（100）的激光并将激光反射至所述第二检流计振镜（204），所述第二检流计振镜（204）用于接收所述第一检流计振镜（203）的激光并将激光反射至所述共振振镜（205），所述共振振镜（205）用于接收所述第二检流计振镜（204）的激...
【技术特征摘要】
1.一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：包括第一激光器（100）、扫描组件（200）、光束收集组件（300）与第一光电探测器（400），所述第一激光器（100）用于提供激光，所述扫描组件（200）包括第一检流计振镜（203）、第二检流计振镜（204）与共振振镜（205），所述第一检流计振镜（203）用于接收所述第一激光器（100）的激光并将激光反射至所述第二检流计振镜（204），所述第二检流计振镜（204）用于接收所述第一检流计振镜（203）的激光并将激光反射至所述共振振镜（205），所述共振振镜（205）用于接收所述第二检流计振镜（204）的激光并将激光反射至样品（500），所述光束收集组件（300）用于收集样品（500）反射的光束并将光束输送至所述第一光电探测器（400），所述第一光电探测器（400）用于将光信号转换成电信号，所述第一光电探测器（400）电连接有图像重构件，所述图像重构件用于将电信号转换成样品（500）图像。
2.根据权利要求1所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述共振振镜（205）双面均设有反射层，所述第二检流计振镜（204）位于所述共振振镜（205）的一侧，所述共振振镜（205）另一侧设有第二激光器（209）、聚焦透镜（210）以及多线条光栅（211），所述第二激光器（209）用于提供激光，所述聚焦透镜（210）位于所述共振振镜（205）与所述多线条光栅（211）之间，所述多线条光栅（211）位于所述聚焦透镜（210）的焦点处，所述共振振镜（205）用于反射所述第二激光器（209）的激光至所述聚焦透镜（210）。
3.根据权利要求2所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述多线条光栅（211）远离所述聚焦透镜（210）的一侧设置有多个第二光电探测器（212），多个所述第二光电探测器（212）沿所述多线条光栅（211）长度方向分布，所述第二光电探测器（212）用于检测照射到所述多线条光栅（211）的激光。
4.根据权利要求1所述的基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其特征在于：所述扫...
【专利技术属性】
技术研发人员：却井山，朱婷，
申请(专利权)人：杭州柏纳光电有限公司，
类型：新型
国别省市：
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