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本申请涉及一种基于三镜闭环扫描共聚焦的检测测量显微系统，其包括第一激光器、扫描组件、光束收集组件与第一光电探测器，第一激光器用于提供激光，扫描组件包括第一检流计振镜、第二检流计振镜与共振振镜，第一检流计振镜用于接收第一激光器的激光并将激光反...
该专利属于杭州柏纳光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州柏纳光电有限公司授权不得商用。

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