【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学窗口检测，涉及一种平面光学元件平面度测量装置及测量方法。
技术介绍
1、平面光学元件是光电系统的重要组成部分，随着光学系统成像精度越来越高，光学元件的面形精度要求也越来越高。传统加工光学元件的方式一般分为粗磨、精磨和抛光等。其中，磨削阶段平面光学元件的平面度直接影响后续抛光的精度和效率。目前，磨削阶段平面度主要采用人眼观察刀平尺与元件表面接触后的光缝定性判断，随着平面光学元件的尺寸越来越大，这种依靠加工人员经验的测量方式已经不能满足加工的需求，因此需要寻求一种平面光学元件平面度测量装置，保证可以满足平面光学元件平面度高精度测量和大口径测量。
技术实现思路
1、(一)专利技术目的
2、本专利技术的目的是：针对现有技术中存在的问题，为平面光学元件设计一种平面度测量装置及测量方法，该装置结构简单，操作方便，可实现零件高精度测量，可对不同口径零件进行测量。
3、(二)技术方案
4、为了解决上述技术问题，本专利技术提供一种平面光学元件平面度测量装置，包括一个基架1、三个拉杆2、一个夹头3、一个螺套4、三个测头5、三个滚珠6、多个螺钉7和一个千分表9；基架1中心开过孔，过孔处安装夹头3，夹头3上匹配设置螺套4，千分表9装入夹头3内并通过螺套4固定；基架1周向设置三个通槽，三个通槽围成一个三角形形状，三个拉杆2分别布置在对应的通槽中，拉杆2在通槽中能够移动，通过螺钉7定位；每个拉杆2的底部设置一个测头5，测头5底部设置滚珠6；调整千分表9高度
5、其中，基架1上通槽、拉杆2和螺钉7之间的配合结构可以有两种设计形式。其中一种结构形式为：通槽顶部为长条状通孔，每个拉杆2上开设有螺纹孔，螺钉7配合垫片8穿过通孔拧入拉杆2上的螺纹孔内，在拉杆2沿通槽移动到位后，拧紧螺钉7可将拉杆2定位。另一种结构形式为：通槽顶部开设螺纹孔，螺钉7穿过螺纹孔后，螺钉7顶部抵触在拉杆2外周面上，实现对拉杆2的定位压紧。
6、本专利技术还提供一种基于上述测量装置的平面光学元件平面度测量方法，包括以下步骤：
7、步骤1：将千分表9插入夹头3和螺套4中，调整千分表9高度，旋紧螺套，保证千分表9不移动；
8、步骤2：将测量装置放置在标准平晶上，千分表9调零；
9、步骤3：将调零后的测量装置放置在待测平面光学元件上，通过移动拉杆2，分别对待测平面光学元件不同口径平面度进行测量，优选对φ100口径、φ200口径、φ300口径和φ400口径的平面度进行测量。
10、步骤4：根据测量结果对待测平面光学元件平面度进行修整；
11、步骤5：重复步骤2、3和4，直到待测平面光学元件满足抛光前的平面度精度要求。
12、(三)有益效果
13、上述技术方案所提供的平面光学元件平面度测量装置及测量方法，具有以下有益效果：
14、(1)本专利技术采用导轨和可移动拉杆设计，可对不同口径的平面光学元件平面度进行快速测量；
15、(2)本专利技术结构可实现对平面光学元件平面度定量测量，操作人员可根据测量结果快速调整机床参数，提高了加工效率；
16、(3)本专利技术符合人体工程学原理，具有结构简单，操作方便。
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1.一种平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，包括：一个基架(1)、三个拉杆(2)、一个夹头(3)、一个螺套(4)、三个测头5、三个滚珠(6)、多个螺钉(7)和一个千分表(9)；基架(1)中心开过孔，过孔处安装夹头(3)，夹头(3)上匹配设置螺套(4)，千分表(9)装入夹头(3)内并通过螺套(4)固定；基架(1)周向设置三个通槽，三个通槽围成一个三角形形状，三个拉杆(2)分别布置在对应的通槽中，拉杆(2)在通槽中能够移动，通过螺钉(7)定位；每个拉杆(2)的底部设置一个测头5，测头5底部设置滚珠(6)；调整千分表(9)高度，旋紧螺套(4)，测量装置调零，将调零后的测量装置放置在待测平面光学元件上，通过移动拉杆(2)，对待测平面光学元件不同口径平面度进行测量。
2.如权利要求1所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述基架(1)上通槽顶部开设螺纹孔，螺钉(7)穿过螺纹孔后，螺钉(7)顶部抵触在拉杆(2)外周面上，实现对拉杆(2)的定位压紧。
3.如权利要求2所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述基架(1)上通槽顶部为长条状通孔，每个拉杆
4.如权利要求3所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述基架(1)为等边三角形厚平板，三条边设有调节位移功能的直线椭圆形导轨，导轨上设有腰形槽，形成通槽，三处顶点预留有调节空间。
5.如权利要求4所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述基架(1)中心处设有过孔，过孔周围设有三个互为120°的螺纹孔，螺纹孔周围设有三个互为120°的减重孔。
6.如权利要求5所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述拉杆(2)为圆形中空钢制拉杆，外部上下被整平，呈椭圆形；上下整平区域设有螺纹孔，通过螺钉(7)和垫片(8)固定在所述基架(1)的导轨上。
7.如权利要求6所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述夹头(3)为钢制夹头，上部设有具有弹性功能的螺纹，下部设有安装法兰，法兰与所述基架(1)的中心过孔通过配车配合，通过螺钉安装在所述基架(1)上。
8.如权利要求7所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述螺套(4)为中孔钢制螺套，上部未设有螺纹，下部设有螺纹，旋于所述夹头(3)上，通过旋紧所述螺套(4)固定所述千分表(9)。
9.如权利要求8所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述测头5为钢制测头，上部设有螺纹，下部设有半圆形球槽；所述测头5安装在所述拉杆(2)下端，所述滚珠(6)通过环氧胶安装在所述测头5上。
10.一种基于权利要求1-9中任一项所述测量装置的平面光学元件平面度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，包括：一个基架(1)、三个拉杆(2)、一个夹头(3)、一个螺套(4)、三个测头5、三个滚珠(6)、多个螺钉(7)和一个千分表(9)；基架(1)中心开过孔，过孔处安装夹头(3)，夹头(3)上匹配设置螺套(4)，千分表(9)装入夹头(3)内并通过螺套(4)固定；基架(1)周向设置三个通槽，三个通槽围成一个三角形形状，三个拉杆(2)分别布置在对应的通槽中，拉杆(2)在通槽中能够移动，通过螺钉(7)定位；每个拉杆(2)的底部设置一个测头5，测头5底部设置滚珠(6)；调整千分表(9)高度，旋紧螺套(4)，测量装置调零，将调零后的测量装置放置在待测平面光学元件上，通过移动拉杆(2)，对待测平面光学元件不同口径平面度进行测量。
2.如权利要求1所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述基架(1)上通槽顶部开设螺纹孔，螺钉(7)穿过螺纹孔后，螺钉(7)顶部抵触在拉杆(2)外周面上，实现对拉杆(2)的定位压紧。
3.如权利要求2所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述基架(1)上通槽顶部为长条状通孔，每个拉杆(2)上开设有螺纹孔，螺钉(7)配合垫片(8)穿过通孔拧入拉杆(2)上的螺纹孔内，在拉杆(2)沿通槽移动到位后，拧紧螺钉(7)可将拉杆(2)定位。
4.如权利要求3所述的平面光学元件平面度测量装置，其特征在于，所述基架(1)为等边三角形厚平板，...
【专利技术属性】
技术研发人员：许增奇，刘选民，刘新武，苏瑛，张瑜，王章利，郭芮，张峰，王阜超，杨硕，
申请(专利权)人：西安应用光学研究所，
类型：发明
国别省市：
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