一种光伏电池的金属化方法及光伏电池的制备方法技术

本发明专利技术涉及光伏电池技术领域，公开了一种光伏电池的金属化方法及光伏电池的制备方法。该金属化方法包括：从硅表面的局部区域重复多次离子注入接触金属源，接触金属源的注入能量逐次递增、注入剂量逐次递减，以获得从硅表面至硅内部的接触金属源浓度逐渐降低的富接触金属源区；退火，使接触金属源与硅形成金属硅合金，以形成从硅表面至硅内部的金属硅合金浓度逐渐递减的金属硅合金层；在金属硅合金层的表面制备金属电极，以使金属电极通过金属硅合金层来与硅表面实现欧姆接触。采用该金属化方法，在保证导电性能的同时，能使光伏电池的开路电压、填充因子、转换效率等性能指标均得到有效改善，进一步带来电池的转换效率增益。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光伏电池，具体涉及一种光伏电池的金属化方法及光伏电池的制备方法。

技术介绍

1、目前，对于晶硅太阳能电池(光伏电池)，采用丝网印刷是较为普遍的金属化方法之一。参见图1，通过印刷电接触浆料(如银浆料)至钝化减反层8上，再加上后期的高温烧结，借由银浆料里的玻璃粉来烧穿钝化减反层8，以使金属电极9(如银电极)与n型硅片2的发射极3形成欧姆接触。然而，金属电极9(如银电极)与n型硅片2的发射极3的直接接触，会导致硅表面(如发射极3表面)的复合缺陷，这些缺陷充当少数载流子的复合中心，从而影响电池的转换效率。

2、基于此，对于晶硅太阳能电池，可采用如topcon技术等来避免金属电极9与硅表面(尤其是硅背面的n+多晶硅层61)的直接接触。参见图1，topcon技术通过使用超薄的隧穿硅氧化层5来完全钝化光伏电池的背表面，再将一层超过100纳米的高掺杂的n+多晶硅层61沉积于隧穿硅氧化层5。其中，超薄的隧穿硅氧化层5既能起钝化作用，防止少数载流子在晶硅表面复合，又能允许多数载流子穿隧通过，从而可以收集电流用于发电。而n+多晶硅层61除了作为多数载流本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，步骤S1中，所述接触金属源的注入能量从5keV逐次递增至35keV，且接触金属源的注入剂量从1E16cm-2逐次递减至1E3cm-2。

3.根据权利要求1或2所述的一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，步骤S1中，所述接触金属源包括银源、铜源、铝源、钛源、镍源中的一种或多种。

4.根据权利要求2所述的一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，步骤S2中，所述接触金属源为银源；所述重复多次离子注入接触金属源，具体包括如下步骤：

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【技术特征摘要】

1.一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，步骤s1中，所述接触金属源的注入能量从5kev逐次递增至35kev，且接触金属源的注入剂量从1e16cm-2逐次递减至1e3cm-2。

3.根据权利要求1或2所述的一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，步骤s1中，所述接触金属源包括银源、铜源、铝源、钛源、镍源中的一种或多种。

4.根据权利要求2所述的一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，步骤s2中，所述接触金属源为银源；所述重复多次离子注入接触金属源，具体包括如下步骤：

5.根据权利要求1所述的一种光伏电池的金属化方法，其特征在于，步骤s2中，所述退火的温度为600-800℃，退火的时间为5-10分钟。

6.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈景绍，林建伟，
申请(专利权)人：泰州中来光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：