制造用于有机发光二极管沉积的沉积掩模的方法技术

本申请涉及制造用于有机发光二极管沉积的沉积掩模的方法，包括：准备具有长轴和短轴的金属板；以拉力沿长轴方向拉拔金属板；在被拉拔的金属板上形成包括光致抗蚀剂层的掩模图案；形成穿透被拉拔的金属板的一个表面和另一表面的多个通孔。金属板包括沿长轴方向延伸且沿短轴方向间隔开的第一边缘及第二边缘。在拉拔金属板时，根据差异施加拉力以使得第一边缘长度和第二边缘长度沿着长轴彼此对应。被拉拔的金属板上的被拉拔的掩模图案包括沿长轴方向延伸且沿短轴方向间隔开的第三边缘和第四边缘。在被拉拔的掩模图案中，第三边缘的长度与第四边缘的长度不同，在长轴方向上邻近的通孔中的每个通孔的中心间距从第三边缘朝向第四边缘变得更远。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及能够使长度偏差最小化的沉积掩模及制造该沉积掩模的方法。

技术介绍

1、显示装置通过应用于各种装置来使用。例如，显示装置通过不仅应用于诸如智能电话和平板电脑之类的小型装置而且应用于诸如电视、监测器和公共显示器(pd)之类的大型装置来使用。特别地，近来，对500像素每英寸(ppi)或更高像素的超高清(uhd)的需求已经增加，并且高分辨率显示装置已经应用于小型装置和大型装置。因此，对用于实现低功率和高分辨率的技术的兴趣日益增加。

2、通常使用的显示装置可以根据驱动方法大致分类成液晶显示器(lcd)、有机发光二极管(oled)等。

3、lcd是通过使用液晶驱动的显示装置，并且lcd具有下述结构：在该结构中，在液晶的下部部分处设置有包括冷阴极荧光灯(ccfl)、发光二极管(led)等的光源。lcd是通过使用设置在光源上的液晶控制从光源发射的光量来驱动的显示装置。

4、另外，oled是通过使用有机材料驱动且不需要独立光源的显示装置，并且有机材料本身可以充当光源并且可以以低功耗来驱动。另外，oled作为可以表现出无限的对本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种制造用于有机发光二极管沉积的沉积掩模的方法，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述金属板中，当在形成所述多个通孔之后所述拉力被移除时，所述第三边缘的长度对应于所述第四边缘的长度。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第三边缘的长度、所述第四边缘的长度中的每一者分别短于所述第一边缘的长度、所述第二边缘的长度。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，在被拉拔的所述金属板上的被拉拔的所述掩模图案中，所述第三边缘的长度短于所述第四边缘的长度。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，所述掩模图案的形成包括：

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【技术特征摘要】

1.一种制造用于有机发光二极管沉积的沉积掩模的方法，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其中，在所述金属板中，当在形成所述多个通孔之后所述拉力被移除时，所述第三边缘的长度对应于所述第四边缘的长度。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述第三边缘的长度、所述第四边缘的长度中的每一者分别短于所述第一边缘的长度、所述第二边缘的长度。

4.根据权利要求3所述的方法，其中，在被拉拔的所述金属板上的被拉拔的所述掩模图案中，所述第三边...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相侑，曹荣得，金南昊，
申请(专利权)人：LG伊诺特有限公司，
类型：发明
国别省市：