【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及高精度光学检测设备领域，尤其是涉及一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置及方法。
技术介绍
1、零件划痕、损伤、裂缝的快速高精度检测可保证零件在使用过程中的安全性和可靠性，在航空航天、汽车制造、核工业及轨道交通等行业中具有重要的应用价值。传统检测通常是通过人工目视的方法，在不同光照的情况下根据经验进行检查。然而，随着生产任务的逐步加重，人工检测效率低下的缺点日益凸显，且人工检测易受人工视觉疲劳的影响，导致检测结果出现偏差，使产品质量存在严重的检测风险。随着计算机图像处理能力的不断提高，机器视觉检测的方法被逐渐应用在零件划痕、损伤、裂缝检测的检测中。机器视觉方法通过光源照明被测零件，再利用成像镜头和相机对物体进行图像信息的采集并传输至电脑，通过算法和程序对零件表面的划痕、损伤和裂缝信息进行处理和识别。然而，该方法存在以下两个重要问题：(1)由于高分辨成像光学系统存在景深受限的问题，针对具有立体三维起伏的物体，该无法对其三维表面上各个高度下的划痕、损伤和裂缝都实现高分辨成像；(2)某些损伤非常轻微，常规的照明和成像技术无法高灵敏度获...
【技术保护点】
1.一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置，其特征在于，包括一体化底座(1)、图像传感器(2)、筒镜(3)、本征光滤除结构、白光照明光源、荧光激发光源、物镜(7)和物镜平移台(6)，所述图像传感器(2)、筒镜(3)、本征光滤除结构和物镜平移台(6)均安装在一体化底座(1)上；
2.根据权利要求1所述的一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置，其特征在于，所述本征光滤除结构为二向色镜(5)，该二向色镜(5)位于筒镜(3)和物镜(7)之间；所述荧光激发光源为同轴荧光激发光源(4)，与所述二向色镜(5)一侧输入端同轴设置；所述同轴荧光激发光源(4)激发的荧光信号经二向色镜(5...
【技术特征摘要】
1.一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置，其特征在于，包括一体化底座(1)、图像传感器(2)、筒镜(3)、本征光滤除结构、白光照明光源、荧光激发光源、物镜(7)和物镜平移台(6)，所述图像传感器(2)、筒镜(3)、本征光滤除结构和物镜平移台(6)均安装在一体化底座(1)上；
2.根据权利要求1所述的一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置，其特征在于，所述本征光滤除结构为二向色镜(5)，该二向色镜(5)位于筒镜(3)和物镜(7)之间；所述荧光激发光源为同轴荧光激发光源(4)，与所述二向色镜(5)一侧输入端同轴设置；所述同轴荧光激发光源(4)激发的荧光信号经二向色镜(5)反射后，通过物镜(7)照射至被测荧光零件表面。
3.根据权利要求2所述的一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置，其特征在于，所述零件表面瑕疵三维荧光检测装置还包括分光镜(8)，所述白光照明光源为同轴白光照明光源(9)，所述同轴白光照明光源(9)与所述分光镜(8)的一侧输入端同轴设置，所述分光镜(8)位于二向色镜(5)和同轴荧光激发光源(4)之间，所述同轴白光照明光源(9)发出的白光信号经过分光镜(8)反射后，经过二向色镜(5)、并通过物镜(7)照射至被测荧光零件表面...
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