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一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:40805812
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本发明涉及一种零件表面瑕疵三维荧光检测装置和方法,将物镜安装在物镜平移台上,物镜平移台可滑动连接一体化底座;白光照明光源用于照明,从而获取零件表面纹理信息,荧光激发光源发射本征光并照射到被测零件表面,从而激发荧光信号;通过移动物镜平移台逐层...
该专利属于上海交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过上海交通大学授权不得商用。
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