【技术实现步骤摘要】
本申请实施例涉及连续直拉法晶体装置，具体而言，涉及一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置。
技术介绍
1、连续直拉法是生长各种晶体材料的一种新型方法。相较于传统直拉法而言，连续直拉法在拉制晶体的过程中不断地向坩埚中投入新的原料，以保持坩埚内部液面的稳定，无需将坩埚上移来补充由于长晶导致的液位下降的问题。因此，连续直拉热场在整个长晶过程中可以接近稳态，接近稳态的热场可以有效的解决熔体中杂质和组分分布不均匀的问题，可以获得具有轴向均匀性良好的晶体。基于此优点，连续直拉法是制备大尺寸、高质量晶体的有效办法。
2、连续直拉法为防止在长晶过程中未熔化的原料被输运至固液界面附近，导致长晶失败。通常在晶体与坩埚之间布置一内坩埚，使投入的原料在内外坩埚之间充分熔化后，再由内坩埚底部输运至长晶界面附近，使得长晶过程连续稳定进行。
3、在现有的连续直拉法中，内坩埚通常被设计成筒状结构，并在其底部开设连通孔，被放置在外坩埚内部，与外坩埚相接触。在长晶过程中底部托盘带动外坩埚旋转，此时内坩埚与外坩埚具有相同的旋转方向以及旋转速度，使得...
【技术保护点】
1.一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于：
4.根据权利要求2或3所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于：
5.根据权利要求1所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于：
7.根据权利要求1所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚...
【技术特征摘要】
1.一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于：
3.根据权利要求1所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于：
4.根据权利要求2或3所述的用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置，其特征在于：
<...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。