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一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置制造方法及图纸
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下载一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置的技术资料
文档序号:40805068
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本申请实施例提供一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置,属于连续直拉法晶体装置技术领域,包括:炉体以及设置所述炉体内的外坩埚和内坩埚,所述内坩埚位于所述外坩埚内,且所述内坩埚与所述外坩埚的内壁之间具有间隙;所述内坩埚上设置有安装环,所述炉...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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