下载一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置的技术资料

文档序号:40805068

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请实施例提供一种用于连续直拉法晶体生长的坩埚旋转装置,属于连续直拉法晶体装置技术领域,包括:炉体以及设置所述炉体内的外坩埚和内坩埚,所述内坩埚位于所述外坩埚内,且所述内坩埚与所述外坩埚的内壁之间具有间隙;所述内坩埚上设置有安装环,所述炉...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。