【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电池蚀刻,尤其涉及一种topcon电池电池生产用蚀刻装置。
技术介绍
1、topcon电池即隧穿氧化层钝化接触电池,主要使用n型硅片为载体,在perc电池的基础上于背面制备一层极薄的氧化硅层即隧穿氧化层,然后再沉积一层磷掺杂的微晶非晶混合硅薄膜,混合硅薄膜在退火过程中结晶性发生变化,转变为多晶形成钝化接触结构,topcon电池的超薄氧化硅层利用量子隧穿效应,可允许多子隧穿而阻挡少子透过,在其上沉积一层金属作为电极就实现了无需开孔的钝化接触结构,不接触硅片就可以完成电流传输,从而降低了电池电极处复合而造成的效率损失,topcon目前有4种工艺路线,其中都需要对电池板进行蚀刻处理,在蚀刻作业中,通常会将电池板进行单面固定,再将电池板面浸入蚀刻液中进行稳定蚀刻,在进行另一面蚀刻时需要将电池板取下重新固定,操作繁杂的同时会对工作人员产生一定的安全隐患,同时废液会产生废渣,但过滤网一般都安装在出液管内,当出现堵塞时无法快速取出清理,需要将蚀刻液先全部排出才能进行取出清洗,十分影响蚀刻的效率。
技术实现思路
1本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种TOPCon电池电池生产用蚀刻装置,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的内侧设置有蚀刻箱(2),所述外壳(1)的左侧固定连接有储液箱(3),所述储液箱(3)的右侧下部前后对称设置有进液管(4),所述进液管(4)的右端均伸入蚀刻箱(2)的内部且与其固定连接,所述蚀刻箱(2)的顶部左侧中部固定连接有定位轴(5),所述定位轴(5)的外侧上下滑动连接有驱动架(6);
2.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池电池生产用蚀刻装置,其特征在于:所述夹板(12)相对的一侧均设置有缓冲垫带。
3.根据权利要求1所述的一种TOPCon电池电池生
...【技术特征摘要】
1.一种topcon电池电池生产用蚀刻装置,包括外壳(1),其特征在于:所述外壳(1)的内侧设置有蚀刻箱(2),所述外壳(1)的左侧固定连接有储液箱(3),所述储液箱(3)的右侧下部前后对称设置有进液管(4),所述进液管(4)的右端均伸入蚀刻箱(2)的内部且与其固定连接,所述蚀刻箱(2)的顶部左侧中部固定连接有定位轴(5),所述定位轴(5)的外侧上下滑动连接有驱动架(6);
2.根据权利要求1所述的一种topcon电池电池生产用蚀刻装置,其特征在于:所述夹板(12)相对的一侧均设置有缓冲垫带。
3.根据权利要求1所述的一...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘志锋,余竹云,朱玉娟,李钡,王海斌,金雪虎,黄伟,
申请(专利权)人:中环新能安徽先进电池制造有限公司,
类型:新型
国别省市:
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