【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学测量，具体涉及一种可视化光谱共焦测量装置。
技术介绍
1、二次元测量仪主要用于二维平面光学测量，可以快速读取光学尺的位移值，并在屏幕上生成图形，以直观区分测量结果中可能存在的偏差。目前二次元测量仪无法测量高度信息，2.5次元是在二次元测量仪的基础上增加了一个测量探头，可以测量高度和一些单一的三维功能，当表面粗糙度测量精度较好时，只能达到0.02mm以内的精度，如：圆柱、圆锥、球等，测量精度一般可以在0.01mm以内，但在测量深度时，探头直径的大小直接限制了孔径的大小，一般较小直径只能达到3mm，孔深一般只能在20mm以内，还需要考虑个别工件和易变形零件不能用接触式测量方法进行测量。
2、而在采用非接触式测量方式中，若使用三角反射法的激光位移计进行测量，被测对象材质不同或被测对象倾斜会导致感光波出现位置偏差或波形混乱，从而产生较大的测量误差，测量点错位等问题；采用共焦激光头测量时，测量系统与视觉系统不共轴，每次测量需要镜头确认位置后再将激光头移动到该位置进行测量，存在影响测量效率、测量点位置不匹配等问题。p>
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【技术保护点】
1.一种可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，包括：光源、分束镜、色散透镜组、滤光部、光谱仪、成像反射镜组以及成像机构，所述分束镜及色散透镜组设置于入射测量光路，所述色散透镜组、所述分束镜、所述滤光部及所述光谱仪设置于反射测量光路，所述成像反射镜组及所述成像机构设置于反射成像光路；
2.如权利要求1所述的可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，所述色散透镜组包括：多个依次设置的透镜，所述透镜包括但不限于中心区域平整的凹透镜、双凸透镜、平板镜片。
3.如权利要求2所述的可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，沿所述反射测量光路的首个所述透镜为平板镜片。p>
4.如权利...
【技术特征摘要】
1.一种可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，包括：光源、分束镜、色散透镜组、滤光部、光谱仪、成像反射镜组以及成像机构，所述分束镜及色散透镜组设置于入射测量光路，所述色散透镜组、所述分束镜、所述滤光部及所述光谱仪设置于反射测量光路，所述成像反射镜组及所述成像机构设置于反射成像光路；
2.如权利要求1所述的可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，所述色散透镜组包括：多个依次设置的透镜，所述透镜包括但不限于中心区域平整的凹透镜、双凸透镜、平板镜片。
3.如权利要求2所述的可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，沿所述反射测量光路的首个所述透镜为平板镜片。
4.如权利要求2所述的可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，沿所述反射测量光路的首个所述透镜的中心区域平整。
5.如权利要求2所述的可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，沿所述反射测量光路的首个所述透镜的中部区域开设有避让孔。
6.如权利要求2所述的可视化光谱共焦测量装置，其特征在于，沿所述反...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙彦超，王国安，王前程，罗伟峰，
申请(专利权)人：海伯森技术深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：
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