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本发明公开了一种可视化光谱共焦测量装置,包括:光源、分束镜、色散透镜组、滤光部、光谱仪、成像反射镜组以及成像机构,所述分束镜及色散透镜组设置于入射测量光路,所述色散透镜组、所述分束镜、所述滤光部及所述光谱仪设置于反射测量光路,所述成像反射镜...该专利属于海伯森技术(深圳)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过海伯森技术(深圳)有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种可视化光谱共焦测量装置,包括:光源、分束镜、色散透镜组、滤光部、光谱仪、成像反射镜组以及成像机构,所述分束镜及色散透镜组设置于入射测量光路,所述色散透镜组、所述分束镜、所述滤光部及所述光谱仪设置于反射测量光路,所述成像反射镜...