一种氧化铝陶瓷机械臂的制造方法技术

本发明专利技术公开了一种氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，包括开模、准备粉体、布粉压制、烧结、加工成型等步骤，本发明专利技术具有制造成本低、制造效率高、产品合格率高、且供应链稳定等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术主要涉及用来吸附硅片的氧化铝陶瓷机械臂领域。

技术介绍

1、陶瓷机械臂通常采用的材料是氧化铝陶瓷，故也可以称为氧化铝陶瓷机械臂，氧化铝陶瓷机械臂一般用在光伏石英舟、石墨舟和装卸机上，用来吸附硅片。氧化铝陶瓷机械臂工作时采用的是真空吸附，所以氧化铝陶瓷机械臂对结构要求很高，否则有哪里不标准，就可能会导致漏气。

2、如图1所示，目前市面上现有的氧化铝陶瓷机械臂都是先分别加工出盖板1和主体2，然后将盖板1和主体2粘结而成。主体2上有两个不同深度的凹槽，较深的凹槽为真空气槽3，使用时内部为负压，使真空气槽上的吸孔4产生吸力，从而达到吸附的作用；较浅的凹槽为胶水贴合槽5，是盖板1与主体2粘结时涂布胶水的位置。组装盖板1和主体2时，需要在胶水贴合槽5处均匀的涂满胶水后再进行粘结，以防止漏气导致吸力不达标。

3、这种制造方法存在以下缺点：一是加工位置较多，需要加工盖板1和主体2的外形轮廓及外表面，以及真空气槽3和胶水贴合槽5，由于氧化铝材料的硬度非常高(洛氏硬度为hra80-90，硬度仅次于金刚石)，加工非常困难，因此加工效率非常低且加本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于包含以下步骤：

2.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤1)中，根据氧化铝陶瓷机械臂的外形尺寸乘以1.215倍的缩水率进行模具的制作，模具材料采用SKD11或Cr12MoV钢材。

3.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤3)中，使用150吨的压力压制。

4.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤4)中，烧结过程按照150-200℃/小时的升温速率升到1600℃，并在1600℃时保温1-3小时后自然降温。p>

5.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于包含以下步骤：

2.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤1)中，根据氧化铝陶瓷机械臂的外形尺寸乘以1.215倍的缩水率进行模具的制作，模具材料采用skd11或cr12mov钢材。

3.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤3)中，使用150吨的压力压制...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨亮，冯斌，邱宝付，乔富东，王玉梅，唐海，
申请(专利权)人：广东达昊科技有限公司，
类型：发明
国别省市：