【技术实现步骤摘要】
本专利技术主要涉及用来吸附硅片的氧化铝陶瓷机械臂领域。
技术介绍
1、陶瓷机械臂通常采用的材料是氧化铝陶瓷，故也可以称为氧化铝陶瓷机械臂，氧化铝陶瓷机械臂一般用在光伏石英舟、石墨舟和装卸机上，用来吸附硅片。氧化铝陶瓷机械臂工作时采用的是真空吸附，所以氧化铝陶瓷机械臂对结构要求很高，否则有哪里不标准，就可能会导致漏气。
2、如图1所示，目前市面上现有的氧化铝陶瓷机械臂都是先分别加工出盖板1和主体2，然后将盖板1和主体2粘结而成。主体2上有两个不同深度的凹槽，较深的凹槽为真空气槽3，使用时内部为负压，使真空气槽上的吸孔4产生吸力，从而达到吸附的作用；较浅的凹槽为胶水贴合槽5，是盖板1与主体2粘结时涂布胶水的位置。组装盖板1和主体2时，需要在胶水贴合槽5处均匀的涂满胶水后再进行粘结，以防止漏气导致吸力不达标。
3、这种制造方法存在以下缺点：一是加工位置较多，需要加工盖板1和主体2的外形轮廓及外表面，以及真空气槽3和胶水贴合槽5，由于氧化铝材料的硬度非常高(洛氏硬度为hra80-90，硬度仅次于金刚石)，加工非常困难，因此加工效率非常低且加工费用高；二是胶水粘结易分离和漏气，盖板1和主体2使用胶水粘结，在粘结不紧密的情况下会出现漏气的情况，导致机械臂无法产生正常的吸附力，目前因胶水粘结问题导致漏气不合格的占产品数量的约20％；三是胶水依赖国外进口，货源渠道十分不稳定，且价格高昂。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题在于：针对现有技术存在的不足，提供一种制造
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，包含以下步骤：
4、1)开模，根据氧化铝陶瓷机械臂的外形轮廓，制作凹模和凸模；
5、2)准备粉体，使用99氧化铝造粒粉，氧化铝含量≥99.2％，d50在0.95-1.05μm，松装密度≥1.05，含水量0.3％0.5％；
6、3)布粉压制，将凹模和凸模装在干压机上，先在凹模内填充1/3容量的粉体，然后在粉体表面放置与氧化铝陶瓷机械臂真空气槽形状尺寸一致的橡胶条，再次布粉，直至将凹模填满，使用120-180吨的压力压制，保压3s后取出产品；
7、4)烧结，将压制后的产品放入烧结炉中烧结，得到粗坯，烧结过程橡胶条被高温分解；
8、5)加工成型，将粗坯通过研磨平面及cnc精加工外形轮廓及吸孔得到氧化铝陶瓷机械臂成品。
9、作为本专利技术的进一步改进，步骤1)中，根据氧化铝陶瓷机械臂的外形尺寸乘以1.215倍的缩水率进行模具的制作，模具材料采用skd11或cr12mov钢材。
10、作为本专利技术的进一步改进，步骤3)中，使用150吨的压力压制。
11、作为本专利技术的进一步改进，步骤4)中，烧结过程按照150-200℃/小时的升温速率升到1600℃，并在1600℃时保温1-3小时后自然降温。
12、作为本专利技术的进一步改进，步骤4)中，烧结过程按照200℃/小时的升温速率升到1600℃，并在1600℃时保温2小时后自然降温。
13、与现有技术相比，本专利技术的优点在于：本专利技术采用干压法一体化成型工艺，通过在布粉压制过程中放置橡胶条及在烧结过程高温分解橡胶条而形成真空气槽，真空气槽的形成过程更简单；烧制完成后，产品即是一个带真空气槽的整体，整个制造过程无需使用胶水，不依赖胶水，可防止产生漏气，合格率更高，并且无需加工胶水贴合槽，加工量更少，制造成本更低，制造效率更高。
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1.一种氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于包含以下步骤：
2.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤1)中，根据氧化铝陶瓷机械臂的外形尺寸乘以1.215倍的缩水率进行模具的制作，模具材料采用SKD11或Cr12MoV钢材。
3.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤3)中，使用150吨的压力压制。
4.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤4)中，烧结过程按照150-200℃/小时的升温速率升到1600℃，并在1600℃时保温1-3小时后自然降温。
5.根据权利要求4所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤4)中，烧结过程按照200℃/小时的升温速率升到1600℃，并在1600℃时保温2小时后自然降温。
【技术特征摘要】
1.一种氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于包含以下步骤：
2.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤1)中，根据氧化铝陶瓷机械臂的外形尺寸乘以1.215倍的缩水率进行模具的制作，模具材料采用skd11或cr12mov钢材。
3.根据权利要求1所述的氧化铝陶瓷机械臂的制造方法，其特征在于：步骤3)中，使用150吨的压力压制...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨亮，冯斌，邱宝付，乔富东，王玉梅，唐海，
申请(专利权)人：广东达昊科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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