一种外门控制装置与晶圆加工设备制造方法及图纸

本申请提供了一种外门控制装置与晶圆加工设备，涉及晶圆加工技术领域。该外门控制装置应用于晶圆加工设备，晶圆加工设备包括腔体、出口以及外门，出口连通腔体，外门设置于出口处；外门控制装置包括驱动模块、开关模块以及检测模块，开关模块分别与检测模块、驱动模块电连接，驱动模块还与外门连接，检测模块设置于出口的位置；其中，驱动模块用于在工作时驱动外门打开与关闭；检测模块用于检测出口的状态，并在当晶圆位于出口时，断开开关模块，以使驱动模块停止工作。本申请提供的外门控制装置与晶圆加工设备具有避免了晶圆因传送位置偏移导致夹碎的情况产生的效果。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆加工，具体而言，涉及一种外门控制装置与晶圆加工设备。

技术介绍

1、在晶圆加工过程中，需要经过多道工艺，在进行等离子刻蚀工艺时，需要将晶圆传送至刻蚀设备内，在刻蚀工艺完成后，由机械臂将晶圆从设备出口处传出，之后设备外门关闭。

2、然而，在实际应用中，可能出现晶圆传送位置偏移，导致晶圆处于外门中间的位置，此时若设备外门关闭，则会将晶圆夹碎，造成碎片，一方面，导致晶圆的浪费，另一方面，碎片可能进入设备反应腔的过渡区内，对该区域造成污染，影响后续晶圆的加工。

3、综上，现有技术中存在晶圆因传送位置偏移导致夹碎的问题。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种外门控制装置与晶圆加工设备，以解决现有技术中存在的晶圆因传送位置偏移导致夹碎的问题。

2、为了实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

3、第一方面，本申请实施例提供了一种外门控制装置，应用于晶圆加工设备，所述晶圆加工设备包括腔体、出口以及外门，所述出口连通所述腔体，所述外门设置于所述出口处；本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种外门控制装置(100)，其特征在于，应用于晶圆加工设备，所述晶圆加工设备包括腔体、出口以及外门，所述出口连通所述腔体，所述外门设置于所述出口处；所述外门控制装置(100)包括驱动模块(130)、开关模块(120)以及检测模块(110)，所述开关模块(120)分别与所述检测模块(110)、所述驱动模块(130)电连接，所述驱动模块(130)还与所述外门连接，所述检测模块(110)设置于所述出口的位置；其中，

2.如权利要求1所述的外门控制装置(100)，其特征在于，所述开关模块(120)包括触点开关，所述触点开关的一端连接第一电源，另一端连接所述驱动模块(130)；...

【技术特征摘要】

1.一种外门控制装置(100)，其特征在于，应用于晶圆加工设备，所述晶圆加工设备包括腔体、出口以及外门，所述出口连通所述腔体，所述外门设置于所述出口处；所述外门控制装置(100)包括驱动模块(130)、开关模块(120)以及检测模块(110)，所述开关模块(120)分别与所述检测模块(110)、所述驱动模块(130)电连接，所述驱动模块(130)还与所述外门连接，所述检测模块(110)设置于所述出口的位置；其中，

2.如权利要求1所述的外门控制装置(100)，其特征在于，所述开关模块(120)包括触点开关，所述触点开关的一端连接第一电源，另一端连接所述驱动模块(130)；

3.如权利要求2所述的外门控制装置(100)，其特征在于，所述检测模块(110)包括光电开关，所述开关模块(120)还包括线圈，所述触点开关为常闭开关，所述线圈与所述光电开关串联并连接第二电源；

4.如权利要求3所述的外门控制装置(100)，其特征在于，所述线圈与所述光电开关串联并连接24v电源。

5.如权利要求1所述的外门控制装置(100)，其特征在于，所述检测模块(110)设置于所述出口的上方。

6.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：宗亮亮，吕明，汤豪杰，徐剑，
申请(专利权)人：捷捷微电南通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：