【技术实现步骤摘要】
本技术涉及热处理设备，具体涉及一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统。
技术介绍
1、目前，常规的化学气相沉积炉的进出口通常设置在其顶部，且炉体深度可达3米，因此，在产品需要取出时往往需要工作人员直接进入炉内取出产品，而化学气相沉积炉在做cvi、cvd-sic沉积过程中的副产物会附在炉壁上，副产物遇静电、火源会导致瞬燃，导致目前工作人员在炉内取产品时烧伤、窒息等安全事故时有发生；另外，由于取产品时需要人员直接进入炉内，因此，炉内温度必须降至50℃下时才可进入取产品，降温周期长，生产效率较低。
2、因此，基于上述缺陷，亟需设计出一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，解决现有技术中人工进入炉内取产品不安全，且降温周期长的问题。
技术实现思路
1、本申请的目的是提供一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，无需人工进入沉积炉内，且无需等待炉温降低，可以有效解决目前人工进炉取产品导致安全性低、需要降温导致生产效率低的问题。
2、为解决上述技术问题，本技术采用了以下方案：
3、一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，包括：
4、悬空设置的炉体，炉体底部设置有用于放置产品的炉底板；
5、出料结构，出料结构包括用于将炉底板及其上的产品沿竖直方向传出炉体的竖向传动组件，竖向传动组件包括水平设置并于承托炉底板的承托结构以及用于驱动承托结构沿竖直方向上下移动的驱动结构。
6、本申请的设计构思是：通过设置悬空的炉体，并在其底部设置炉底板，同时设置出
7、优选的，还包括设置于基座上的炉架，所述炉体固定于炉架上，且其底部悬空；
8、所述竖向传动组件的承托结构和驱动结构均位于炉架内。
9、优选的，所述驱动结构包括至少一根竖向设置并位于炉架内的升降丝杆，升降丝杆的顶部与炉架转动连接，升降丝杆的底部与基座转动连接；
10、所述承托结构包括水平设置并与升降丝杆螺纹连接的出料盘。
11、优选的，所述竖向传动还包括至少一根竖向设置的滑杆，出料盘与滑杆沿竖直方向滑动连接，升降丝杆和滑杆沿炉体的周向设置。
12、优选的，所述出料结构还包括水平设置于基座上并用于将产品沿水平方向横向传出炉体的横向传动组件；横向传动组件的一端位于炉体正下方，另一端延伸出炉架；
13、横向传动组件包括用于托举炉底板及其产品的托举结构；
14、所述承托结构的形状为匚形或u形，横向传动组件的横向移动方向与承托结构匚形或u形的开口方向一致；
15、承托结构的两个自由端之间的距离大于托举结构的宽度。
16、优选的，所述横向传动组件包括水平设置于基座上的滑轨，以及设置于滑轨上的出料车，出料车于滑轨滑动连接；
17、所述托举结构设置于出料车的顶部；
18、滑轨的一端位于炉体正下方，另一端延伸出炉架；
19、在出料盘往下移动的情况下，出料车位于出料盘的正下方。
20、优选的，所述托举结构包括水平设置于出料车上方的环形承托座，以及若干竖向设置与环形承托座与出料车之间的支柱，若干支柱沿环形承托座的周向分布。
21、优选的，所述托举结构还包括若干竖向设置于环形承托座顶部并用于与出料盘底部呈点式接触的托板件，若干托板件沿环形承托座的周向均匀分布；
22、若干支柱沿环形承托座的周向均匀分布。
23、优选的，还包括设置炉体顶部并于炉体铰接的炉盖，以及设置于炉底板与炉盖之间的筒状加热结构。
24、优选的，还包括用于为产品快速降温的水冷模块，以及用于监测水流量的流量柜，水冷模块包括水泵、送水管以及设置于炉架上的喷头，喷头的开口朝向出料盘设置。
25、本技术的有益效果：
26、本申请通过在悬空炉体的底部设置炉底板以及将产品竖向运输出来的出料结构，使得产品可以在炉外降温，提高产品的降温速度，提高产品的生产效率。
27、另外，本申请通过出料结构将产品从炉体内部运输出来，可以避免工作人员进入炉体内部拿取物品，导致出料麻烦，且存在安全隐患的问题。
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1.一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，还包括设置于基座(2)上的炉架(9)，所述炉体(5)固定于炉架(9)上，且其底部悬空；
3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述驱动结构包括至少一根竖向设置并位于炉架(9)内的升降丝杆，升降丝杆的顶部与炉架(9)转动连接，升降丝杆的底部与基座(2)转动连接；
4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述竖向传动还包括至少一根竖向设置的滑杆，出料盘(8)与滑杆沿竖直方向滑动连接，升降丝杆和滑杆沿炉体(5)的周向设置。
5.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述出料结构还包括水平设置于基座(2)上并用于将产品沿水平方向横向传出炉体(5)的横向传动组件；横向传动组件的一端位于炉体(5)正下方，另一端延伸出炉架(9)；
6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述横向
7.根据权利要求6所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述托举结构包括水平设置于出料车(14)上方的环形承托座(15)，以及若干竖向设置与环形承托座(15)与出料车(14)之间的支柱，若干支柱沿环形承托座(15)的周向分布。
8.根据权利要求7所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述托举结构还包括若干竖向设置于环形承托座(15)顶部并用于与出料盘(8)底部呈点式接触的托板件(16)，若干托板件(16)沿环形承托座(15)的周向均匀分布；
9.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，还包括设置炉体(5)顶部并于炉体(5)铰接的炉盖(4)，以及设置于炉底板(7)与炉盖(4)之间的筒状加热结构(6)。
10.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，还包括用于为产品快速降温的水冷模块(12)，以及用于监测水流量的流量柜(3)，水冷模块(12)包括水泵、送水管以及设置于炉架(9)上的喷头，喷头的开口朝向出料盘(8)设置。
...【技术特征摘要】
1.一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，还包括设置于基座(2)上的炉架(9)，所述炉体(5)固定于炉架(9)上，且其底部悬空；
3.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述驱动结构包括至少一根竖向设置并位于炉架(9)内的升降丝杆，升降丝杆的顶部与炉架(9)转动连接，升降丝杆的底部与基座(2)转动连接；
4.根据权利要求3所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述竖向传动还包括至少一根竖向设置的滑杆，出料盘(8)与滑杆沿竖直方向滑动连接，升降丝杆和滑杆沿炉体(5)的周向设置。
5.根据权利要求2所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述出料结构还包括水平设置于基座(2)上并用于将产品沿水平方向横向传出炉体(5)的横向传动组件；横向传动组件的一端位于炉体(5)正下方，另一端延伸出炉架(9)；
6.根据权利要求5所述的一种化学气相沉积炉的降出式出炉系统，其特征在于，所述横向传动组件包括水平设置于基座(2)上的滑轨(10)，...
【专利技术属性】
技术研发人员：水佑裕，李涛，
申请(专利权)人：成都成维精密机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：
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