【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，特别是一种碳化钽涂层石墨承载盘。
技术介绍
1、发光二极管是一种固态半导体二极管发光器件，被广泛用于指示灯、显示屏等照明领域。
2、目前，led外延晶圆很多通过金属有机化合物化学气相沉淀获取，其制程简述如下：将外延晶圆衬底(如蓝宝石衬底)放入石墨承载盘的凹槽上，连同石墨承载盘一起被传入mocvd反应室内，衬底连同石墨承载盘被一起加热到高温1000℃左右，反应室内通入有机金属化合物和五族气体，高温裂解后在晶圆衬底上重新聚合形成led外延层。
3、led发光二极管外延晶圆制程中，晶圆衬底直接承载在石墨承载盘上，因此石墨承载盘的结构对外延的良率起到重要的影响，其成为业界研究的重点。
4、现有的石墨承载盘上对晶圆的固定效果不牢靠，且不能够方便快捷取放晶圆。
技术实现思路
1、本技术的目的旨在至少解决所述技术缺陷之一。
2、本技术的目的在于克服现有技术的缺点，解决
技术介绍
中所提到的问题，提供一种碳化钽涂层石墨承载盘。
3、本技术的目的通过以下技术方案来实现：一种碳化钽涂层石墨承载盘，石墨承载盘包括上盘体和下盘体，所述上盘体的内部开设有承载槽，所述下盘体的顶部固定连接有导柱，所述上盘体的内部开设有导孔，所述上盘体的内部活动连接有螺纹柱，所述螺纹柱上固定连接有挡板，所述螺纹柱顶部固定连接有旋钮，所述下盘体的内部开设有与螺纹柱相适配的螺纹孔，下盘体上设置有定位槽，通过设置上盘体和下盘体组成的石墨承载盘，下盘体设置定位槽用
4、优选的，所述上盘体的内部开设有用于安装螺纹柱的通孔，所述螺纹柱可转动的安装在通孔中。
5、优选的，所述导柱的数量有多个，多个导柱均为分布在下盘体上，所述导孔的数量与导柱相同，所述导柱与导孔适配且位置对应。
6、优选的，所述承载槽为阶梯孔，所述承载槽开口直径小，内部直径大。
7、优选的，所述定位槽中放置晶圆。
8、优选的，所述定位槽与承载槽位置对应，数量相同。
9、与现有技术相比，本技术具有以下优点：
10、该碳化钽涂层石墨承载盘，通过设置上盘体和下盘体组成的石墨承载盘，下盘体设置定位槽用于晶圆的初步定位，待晶圆放置在定位槽中后，再将通过螺纹柱将上盘体和下盘体固定在一起，使得该石墨承载盘对晶圆的固定效果好，且拆卸上盘体后，可方便快捷的批量拿取晶圆，该装置的设置不仅方便工作人员方便快捷的批量取放晶圆，还通过阶梯状的承载槽方便对晶圆进行固定，提高晶圆放置时的稳定性。
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1.一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：石墨承载盘包括上盘体(1)和下盘体(2)，所述上盘体(1)的内部开设有承载槽(3)，所述下盘体(2)的顶部固定连接有导柱(4)，所述上盘体(1)的内部开设有导孔(5)，所述上盘体(1)的内部活动连接有螺纹柱(6)，所述螺纹柱(6)上固定连接有挡板(7)，所述螺纹柱(6)顶部固定连接有旋钮(8)，所述下盘体(2)的内部开设有与螺纹柱(6)相适配的螺纹孔(9)，下盘体(2)上设置有定位槽(10)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：所述上盘体(1)的内部开设有用于安装螺纹柱(6)的通孔(101)，所述螺纹柱(6)可转动的安装在通孔(101)中。
3.根据权利要求1所述的一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：所述导柱(4)的数量有多个，多个导柱(4)均为分布在下盘体(2)上，所述导孔(5)的数量与导柱(4)相同，所述导柱(4)与导孔(5)适配且位置对应。
4.根据权利要求1所述的一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：所述承载槽(3)为阶梯孔，所述承载槽(3)开口直径小，内部直径大。
5.根据权利要求1所述的一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：所述定位槽(10)中放置晶圆。
6.根据权利要求1所述的一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：所述定位槽(10)与承载槽(3)位置对应，数量相同。
...【技术特征摘要】
1.一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：石墨承载盘包括上盘体(1)和下盘体(2)，所述上盘体(1)的内部开设有承载槽(3)，所述下盘体(2)的顶部固定连接有导柱(4)，所述上盘体(1)的内部开设有导孔(5)，所述上盘体(1)的内部活动连接有螺纹柱(6)，所述螺纹柱(6)上固定连接有挡板(7)，所述螺纹柱(6)顶部固定连接有旋钮(8)，所述下盘体(2)的内部开设有与螺纹柱(6)相适配的螺纹孔(9)，下盘体(2)上设置有定位槽(10)。
2.根据权利要求1所述的一种碳化钽涂层石墨承载盘，其特征在于：所述上盘体(1)的内部开设有用于安装螺纹柱(6)的通孔(101)，所述螺纹柱(6)可转动的安装在通孔...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟荣，
申请(专利权)人：嵊州市西格玛科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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