一种用于电子级氢氟酸废液处理设备制造技术

本发明专利技术涉及氢氟酸生产的领域，公开了一种用于电子级氢氟酸废液处理设备，包括碱洗筒、收集筒以及收集框，所述碱洗筒的一侧面上设置有收集筒，所述收集筒的底端通过卡合结构安装有收集框，所述碱洗筒与收集筒之间通过两个进料口连通，上方的所述进料口内的下方处转动穿过有第一转杆，下方的所述进料口的下方位置处转动穿过有第二转杆,在需要对滤板上过滤的氟化钙收集时，只需转动筛分板即可将过滤出的氟化钙倒出至收集筒进行收集，结构更加的简单，减少了该设备的制造成本，并且由于设置有两块筛分板，这样在对其中一块筛分板上的氟化钙收集时，另外一块筛分板可继续进行废液处理工作，该设备无需停止废液处理工作，大大的提高了效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及氢氟酸生产的，尤其是涉及一种用于电子级氢氟酸废液处理设备。

技术介绍

1、氢氟酸氟化氢气体的水溶液，清澈、无色的腐蚀性液体，有剧烈刺激性气味，具有极强的腐蚀性，能强烈地腐蚀金属、玻璃和含硅的物体，主要用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗和腐蚀，是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一，在制备氢氟酸的过程中，会产生冷凝的尾气，尾气通过纯水进行水洗后再次通过氢氧化钙进行碱洗，尾气中少量的氟化氢与氢氧化钙反应后形成氟化钙沉淀物，由于无法人工手动对氟化钙沉淀物进行清理，需要再氢氟酸废液处理时对沉淀物进行起立，及那好出现氢氧化钙浪费的情况，降低原料成本；

2、现有技术中的废液处理设备，在氢氧化钙废液排放的过程中，通过滤网对氢氧化钙废液中的氟化钙进行过滤，进而实现了对废液的有效过滤，提高废液处理效率，当完成对氢氧化钙排放后，通过外接的驱动装置带动第二转动轴转动，第二转动轴带动密封板向上翻转，密封板带动密封塞离开开口，第二转动轴转动的同时带动第一齿轮转动，因为第一齿轮与齿杆的顶部啮合，进而在第一齿轮转动的过程中带动齿杆在升降槽的内部向本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于电子级氢氟酸废液处理设备，包括碱洗筒(1)、收集筒(2)以及收集框(3)，其特征在于：所述碱洗筒(1)的一侧面上设置有收集筒(2)，所述收集筒(2)的底端通过卡合结构安装有收集框(3)，所述碱洗筒(1)与收集筒(2)之间通过两个进料口(4)连通，上方的所述进料口(4)内的下方处转动穿过有第一转杆(5)，下方的所述进料口(4)的下方位置处转动穿过有第二转杆(6)，所述第一转杆(5)和第二转杆(6)上均套有筛分板(7)，所述筛分板(7)呈“L”形状，所述筛分板(7)的一侧面上开设有安装槽(8)，所述安装槽(8)内设置有滤板(9)，所述碱洗筒(1)一侧内壁上设置有两根支撑条(25)...

【技术特征摘要】

1.一种用于电子级氢氟酸废液处理设备，包括碱洗筒(1)、收集筒(2)以及收集框(3)，其特征在于：所述碱洗筒(1)的一侧面上设置有收集筒(2)，所述收集筒(2)的底端通过卡合结构安装有收集框(3)，所述碱洗筒(1)与收集筒(2)之间通过两个进料口(4)连通，上方的所述进料口(4)内的下方处转动穿过有第一转杆(5)，下方的所述进料口(4)的下方位置处转动穿过有第二转杆(6)，所述第一转杆(5)和第二转杆(6)上均套有筛分板(7)，所述筛分板(7)呈“l”形状，所述筛分板(7)的一侧面上开设有安装槽(8)，所述安装槽(8)内设置有滤板(9)，所述碱洗筒(1)一侧内壁上设置有两根支撑条(25)。

2.根据权利要求1所述的一种用于电子级氢氟酸废液处理设备，其特征在于：所述第一转杆(5)穿出碱洗筒(1)的一端上套有第一齿轮(10)，所述碱洗筒(1)外面处于第一齿轮(10)的上方位置处开设有第一滑槽(13)，所述第一滑槽(13)中滑动设置有第一滑块(12)，所述第一滑块(12)上设置有第一带动条(11)，所述第一带动条(11)的下面设置有与第一齿轮(10)啮合连接的齿牙，所述第一滑块(12)上连接有第一插杆(14)，所述碱洗筒(1)外侧面靠近第一带动条(11)的位置处设置有升降板(15)，所述升降板(15)上开设有第一导向槽(16)，所述第一插杆(14)的一端插进第一导向槽(16)中。

3.根据权利要求1所述的一种用于电子级氢氟酸废液处理设备，其特征在于：所述第二转杆(6)穿出碱洗筒(1)的一端上套有第二齿轮(17)，所述碱洗筒(1)外面处于第二齿轮(17)的上方位置处开设有第二滑槽(20)，所述第二滑槽(20)中滑动设置有第二滑块(19)，所述第二滑块(19)上设置有第二带动条(18)，所述第二带动条(18)上设置有与第二齿轮(17)啮合连接的齿牙，所述第二滑块(19)上连接有第二插杆(21)，所述第二插杆(21)的一端插进第二导向槽(22)中，所述第二导向槽(22)开设在升降板(15)上。

4.根据权利要求1所述的一种用于电子级氢氟酸废液处理设备，其特征在于：所述碱洗筒(1)外侧面处于升降板(15)的上方位置处连接有安装板(23)，所述安装板(23)的上面处设置有气缸(24)，所述气缸(24)输出轴的底端连接在升降板(15)上。

5.根据权利要求1所述的一种用于电子级氢氟酸废液处理设备，其特征在于：所述筛分板(7)下面靠近后侧的两个边角处均连接有第一固定块(27)，两块所述第一固定块(27)上转动穿过有第一往复丝杆(28)，所述第一往复丝杆(28)上套有第一丝杆套(31)，所述第一往复丝杆(28)的一端上套有第三齿轮(29)，所述碱洗筒(1)的后侧内壁上设置有弧形条(30)，所述筛分板(7)上开设有供弧形条(30)穿过的开口(26)，所述第三齿轮(29)与弧形条(30)上的齿牙之间啮合连接，所述第一丝杆套(31)上设置有延伸板(32)，所述延伸板(32)延伸至滤板(9)的下方处，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：沙永华，张念同，
申请(专利权)人：安瑞森宁夏电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：