本发明专利技术涉及MEMS扬声器及电子设备。该一种MEMS扬声器，包括：至少一个振膜，振膜的一端固定且另一端设置有或者存在振动用空间；至少一个重叠结构，以跨过对应的振动用空间的方式覆盖对应的振动用空间，且重叠结构和其所覆盖的振动用空间在振动方向上存在距离。本发明专利技术还涉及一种电子设备。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施例涉及半导体领域，尤其涉及一种具有重叠结构的mems扬声器，以及一种电子设备。
技术介绍
1、微机电系统(micro--electro mechanical systems，简称mems)是指内部结构在微米级甚至纳米级的机电系统。微机电系统具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成等特点。
2、mems扬声器是一种将电信号转变为声信号的微型换能器，其核心组件(例如执行器/驱动器、振膜、热声膜等)利用mems技术在半导体材料上制造而成。mems扬声器按照工作原理可以分为压电式、电动式、静电式和热声式。
3、压电式mems扬声器的工作原理是使用压电薄膜作为有源元件，当施加电压时会发生变形。这种机械偏转使周围的空气发生位移并产生声波。压电式mems扬声器一个主要优点是它与硅工艺的兼容性，这意味着它可以以低成本大规模和极小尺寸生产。除了尺寸之外，压电式mems扬声器还具有极低的功率以及出色的音频质量。压电式mems扬声器也可以构建在与放大器相同的pcb基板上，从而节省电路板空间。
>4、悬臂梁式振膜是本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种MEMS扬声器，包括：
2.根据权利要求1所述的扬声器，其中：
3.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
4.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
5.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
6.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
7.根据权利要求6所述的扬声器，其中：
8.根据权利要求6所述的扬声器，其中：
9.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
10.根据权利要求9所述的扬声器，其中：
11.根据权利要求9所述的扬声器，其中：
12.根据权利要求9所述的...
【技术特征摘要】
1.一种mems扬声器，包括：
2.根据权利要求1所述的扬声器，其中：
3.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
4.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
5.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
6.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
7.根据权利要求6所述的扬声器，其中：
8.根据权利要求6所述的扬声器，其中：
9.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
10.根据权利要求9所述的扬声器，其中：
11.根据权利要求9所述的扬声器，其中：
12.根据权利要求9所述的扬声器，其中：
【专利技术属性】
技术研发人员：庞慰，张孟伦，刘承泽，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：发明
国别省市：
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