【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，特别涉及一种探针弯曲装置。
技术介绍
1、在半导体失效分析过程中，缺陷定位技术是整个流程的核心环节。若没有缺陷定位技术，找出失效点犹如大海捞针。微光显微探测技术是现在普遍的失效分析定位技术，使用该技术进行失效分析定位时，需要将钨探针进行一定长度和角度的弯曲，之后将其固定在设备配套的探针座上，然后通过探针座将探针扎在半导体芯片的引脚(pad)上对芯片进行供电。
2、目前，市面上可供失效分析定位用针为未弯曲的直针，若投入使用则需要对其进行固定角度和固定长度的弯曲，普遍的弯针方法为手动弯针法，也就是人为手动的将直针弯曲，然而，手动弯针因人为误差会导致弯针的角度以及长度无法精准确定，若弯曲的针角度和长度不合适，则在失效定位分析的时候，设备的透镜在系统聚焦自动调整高度位置的时候，会对探针进行碰撞，导致探针损坏以及样品划伤。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的在于提供一种探针弯曲装置，能够准确的控制探针的弯曲角度，避免划伤样品。其具体方案如下：
2、本申请提供了一种探针弯曲装置，包括：
3、支撑部件，以及安装于所述支撑部件上的角度调整部件和角度确定部件；所述角度调整部件包括第一部分和第二部分，所述第一部分与所述支撑部件固定连接，且延伸方向一致，所述第二部分和所述第一部分转动连接；
4、上抵板，与所述第二部分固定连接，且与所述第二部分相垂直；
5、下抵板，与所述支撑部件转动连接。
6、具体地，所述第二
7、具体地，所述长度标尺的量程范围为0-1.5cm。
8、具体地，所述下抵板包括凹槽，部分所述角度确定部件位于所述凹槽内，所述角度确定部件与所述下抵板转动连接。
9、具体地，所述角度确定部件包括角度标尺，所述角度标尺的量程范围为0-90°。
10、具体地，所述装置还包括：针扣，所述针扣用于将所述探针固定在所述角度调整部件上，至少一个所述针扣位于所述第一部分上，至少一个所述针扣位于所述第二部分上。
11、具体地，所述针扣包括垫片、第一固定件和第二固定件，所述垫片包括第一连接孔和第二连接孔，所述角度调整部件包括第一通孔和第二通孔，所述第一固定件通过所述第一连接孔插入所述第一通孔，所述第二固定件通过所述第二连接孔插入所述第二通孔。
12、具体地，所述垫片的表面设置有浅槽，所述浅槽的横截面轮廓与所述探针的横截面轮廓相匹配，且所述浅槽的横截面尺寸小于所述探针的横截面尺寸。
13、具体地，所述第二部分包括转动连接的第一段和第二段，所述第一段与所述第一部分转动连接，所述第二段与所述上抵板固定连接。
14、具体地，所述装置还包括锁定部件，所述锁定部件用于固定所述角度确定部件与所述下抵板之间的相对位置。
15、本申请实施例提供了一种探针弯曲装置，探针弯曲装置包括支撑部件、角度调整部件、上抵板、下抵板和角度确定部件，支撑部件起到支撑作用，角度调整部件安装于支撑部件上，用于调整探针的弯曲角度，角度调整部件可以包括第一部分和第二部分，第一部分与支撑部件固定连接，且二者的延伸方向一致，第二部分可以和第一部分转动连接，也就是说，第一部分和第二部分可以形成一定的角度。上抵板与第二部分固定连接，并且上抵板与第二部分相垂直，通过拉动上抵板可以使第二部分发生移动；下抵板与支撑部件转动连接，下抵板、上抵板和角度调整部件可以构成闭合空间，角度确定部件安装于支撑部件上，用于确定下抵板与第一部分之间的角度。这样，在通过角度确定部件确定出下抵板与第一部分之间的角度后，通过拉动上抵板，可以使第二部分和第一部分形成夹角，在上抵板和下抵板接触时，第二部分和第一部分之间的角度等于下抵板与第一部分之间的角度，能够准确的控制探针的弯曲角度，进而在半导体失效分析过程中，能够避免弯曲的探针与镜头发生碰撞，避免划伤样品，以及探针损伤，避免探针的浪费。
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1.一种探针弯曲装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二部分包括长度标尺，所述长度标尺用于确定所述探针的弯曲长度。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述长度标尺的量程范围为0-1.5cm。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下抵板包括凹槽，部分所述角度确定部件位于所述凹槽内，所述角度确定部件与所述下抵板转动连接。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述角度确定部件包括角度标尺，所述角度标尺的量程范围为0-90°。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：针扣，所述针扣用于将所述探针固定在所述角度调整部件上，至少一个所述针扣位于所述第一部分上，至少一个所述针扣位于所述第二部分上。
7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述针扣包括垫片、第一固定件和第二固定件，所述垫片包括第一连接孔和第二连接孔，所述角度调整部件包括第一通孔和第二通孔，所述第一固定件通过所述第一连接孔插入所述第一通孔，所述第二固定件通过所述第二连接孔插入所述第
8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述垫片的表面设置有浅槽，所述浅槽的横截面轮廓与所述探针的横截面轮廓相匹配，且所述浅槽的横截面尺寸小于所述探针的横截面尺寸。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的装置，其特征在于，所述第二部分包括转动连接的第一段和第二段，所述第一段与所述第一部分转动连接，所述第二段与所述上抵板固定连接。
10.根据权利要求1-8中任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括锁定部件，所述锁定部件用于固定所述角度确定部件与所述下抵板之间的相对位置。
...【技术特征摘要】
1.一种探针弯曲装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述第二部分包括长度标尺，所述长度标尺用于确定所述探针的弯曲长度。
3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述长度标尺的量程范围为0-1.5cm。
4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述下抵板包括凹槽，部分所述角度确定部件位于所述凹槽内，所述角度确定部件与所述下抵板转动连接。
5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述角度确定部件包括角度标尺，所述角度标尺的量程范围为0-90°。
6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：针扣，所述针扣用于将所述探针固定在所述角度调整部件上，至少一个所述针扣位于所述第一部分上，至少一个所述针扣位于所述第二部分上。
7.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：毛志鹏，苏秋雷，
申请(专利权)人：武汉楚兴技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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