化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法技术

本发明专利技术公开了化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法，所述化学试剂为UL(超纯)级别或UL(超纯)以上级别的化学试剂；具体步骤如下：步骤一、所需器皿清洗，所述器皿包括HDPE瓶和PFA坩埚；步骤二、全过程空白测试；步骤三、化学试剂测试；步骤四、测试的离子；阳离子：Li<supgt;+</supgt;、Na<supgt;+</supgt;、NH<subgt;4</subgt;<supgt;+</supgt;、K<supgt;+</supgt;、Mg<supgt;2+</supgt;、Ca<supgt;2+</supgt;；阴离子：F<supgt;‑</supgt;、CL<supgt;‑</supgt;、NO<subgt;2</subgt;<supgt;‑</supgt;、Br<supgt;‑</supgt;、NO<subgt;3</subgt;<supgt;‑</supgt;、PO<subgt;4</subgt;<supgt;3‑</supgt;、SO<subgt;4</subgt;<supgt;2‑</supgt;；步骤五、计算公式；取两次测试结果的差值，通过以下公式计算得到结果，即为化学试剂中无机离子的含量；通过简单的前处理，浓缩试剂中的杂质，减少基质干扰，提取出化学试剂中的污染物进行检测分析。此方法操作简便快速，适用于大部分的化学试剂中无机离子的测定。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体用化学试剂微污染分析领域，具体涉及化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法。

技术介绍

1、随着半导体行业的快速发展，对先进半导体制程的研究愈发迫切。对超纯水和液体化学传输系统中使用的高纯度聚合物材料和组件的要求越来越高，一般关注的测试包括：8种阴阳离子、22种金属元素、总有机和表面粗糙度，测试中用于浸提的试剂需要根据实际的应用场景而变化，一般分为超纯水或者高纯化学试剂。市场上阴阳离子的测试设备普遍测试的是超纯水，对于高纯试剂一般无法直接测试，需要样品在进入离子色谱前进行预处理，因此开发一种高纯试剂的离子色谱测试方法具有重要意义。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种高纯化学试剂中无机离子的离子色谱检测的分析方法，通过简单的前处理，浓缩试剂中的杂质，减少基质干扰，提取出化学试剂中的污染物进行检测分析。此方法操作简便快速，适用于大部分的化学试剂中无机离子的测定。

2、本专利技术的技术方案是：化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法，所述化学试剂为ul(超纯)级别或本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法，其特征在于：所述化学试剂为UL级别或UL以上级别的化学试剂；

2.根据权利要求1所述的化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法，其特征在于：步骤一中，所需器皿清洗具体如下：先用电子级水冲洗2次，再装满电子级水超声18-22min，重复两次，最后用电子级水冲洗2次并装满电子级水保存，每次使用前再用电子级水冲洗至少2次，用高压气枪吹干备用。

3.根据权利要求1所述的化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法，其特征在于：所述洁净室为100级或100级以上级别洁净室。

【技术特征摘要】

1.化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法，其特征在于：所述化学试剂为ul级别或ul以上级别的化学试剂；

2.根据权利要求1所述的化学试剂中无机离子的离子色谱测试方法，其特征在于：步骤一中，所需器皿清洗具体如下：先用电子级水冲洗2次，再装满电子级水超声...

【专利技术属性】
技术研发人员：范瑞香，贺贤汉，王灿灿，刘蕊，
申请(专利权)人：上海富乐德智能科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：