【技术实现步骤摘要】
本专利技术的实施例涉及半导体领域，尤其涉及一种具有可拉伸膜的mems扬声器、其制造方法以及包括其的电子设备。
技术介绍
1、mems(micro-electro mechanical systems，微机电系统)扬声器是一种将电信号转变为声信号的微型换能器，其核心组件(例如执行器/驱动器、振膜、热声膜等)利用mems技术在半导体材料上制造而成。mems扬声器按照工作原理可以分为压电式、电动式、静电式和热声式。
2、压电式mems扬声器的工作原理是使用压电薄膜作为换能元件，当施加电压时会发生变形。这种机械偏转使周围的空气发生位移并产生声波。压电式mems扬声器一个主要优点是它与半导体工艺的兼容性，这意味着它可以以低成本大规模和极小尺寸生产。除了尺寸之外，压电式mems扬声器还具有极低的功率以及出色的音频质量。压电式mems扬声器也可以构建在与放大器相同的pcb基板上，从而节省电路板空间。
3、悬臂梁式振膜是压电式mems扬声器中常用的振膜结构。带有狭缝的悬臂梁振膜结构如图1a、图1b和图1c所示，图1a为已知的多个悬臂梁振膜的俯视图，图1b为图1a中的结构在a-a剖切面的剖视图。如图1a所示，该mems扬声器包括四个振膜，即振膜60、振膜61、振膜62和振膜63。每个振膜均为三角形，其中一端固定，例如振膜60的一端固定在支撑件51上，其余两端为自由端。相邻两个振膜的相对的自由端之间设置有狭缝，例如振膜60和振膜61的相对的自由端之间设置有狭缝64。狭缝能够减少振膜在振动时受到的约束。图1c所示的悬臂梁振膜为
技术实现思路
1、为缓解或解决现有技术中的上述问题的至少一个方面，提出本专利技术。
2、根据本专利技术的实施例的一个方面，提出了一种mems扬声器，包括：振膜，振膜的一端固定且另一端与另一部件之间设置有振动用空间；可拉伸膜，分别与振膜和另一部件连接，且填充或者覆盖至少部分振动用空间。
3、根据本专利技术的实施例的一个方面，提出了一种mems扬声器的制造方法，包括步骤：形成mems扬声器晶圆，扬声器晶圆设置有多个mems扬声器；在扬声器晶圆上为所述多个mems扬声器同时设置可拉伸膜；执行切割，以形成多个带有可拉伸膜的mems扬声器。
4、本专利技术的实施例也涉及一种电子设备，包括上述的mems扬声器。
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1.一种MEMS扬声器，包括：
2.根据权利要求1所述的扬声器，其中：
3.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
4.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
5.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
6.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
7.根据权利要求6所述的扬声器，其中：
8.根据权利要求6所述的扬声器，其中：
9.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
10.根据权利要求9所述的扬声器，其中：
11.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
12.根据权利要求11所述的扬声器，其中：
13.根据权利要求11所述的扬声器，其中：
14.根据权利要求13所述的扬声器，其中：
15.根据权利要求11所述的扬声器，其中：
16.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
17.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
18.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
19.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
20.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
21.根据权利要求1所述的扬声器，其中：
22.根据权利要求20所述的扬声器，其中：
23.根据权利要求1所述的扬声器，其中：
24.根据权利要求1-23中任一项所述的扬声器，其中：
25.根据权利要求1-23中任一项所述的扬声器，其中：
26.根据权利要求25所述的扬声器，其中：
27.根据权利要求26所述的扬声器，其中：
28.根据权利要求1-23中任一项所述的扬声器，其中：
29.一种MEMS扬声器的制造方法，包括步骤：
30.根据权利要求29所述的方法，其中，设置可拉伸膜的步骤包括：
31.根据权利要求29所述的方法，其中，形成MEMS扬声器晶圆的步骤包括：
32.根据权利要求29所述的方法，其中，设置可拉伸膜的步骤包括：
33.根据权利要求32所述的方法，其中：
34.一种电子设备，包括根据权利要求1-28中任一项所述的扬声器或者根据权利要求29-33中任一项所述的方法制造的扬声器。
...【技术特征摘要】
1.一种mems扬声器，包括：
2.根据权利要求1所述的扬声器，其中：
3.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
4.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
5.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
6.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
7.根据权利要求6所述的扬声器，其中：
8.根据权利要求6所述的扬声器，其中：
9.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
10.根据权利要求9所述的扬声器，其中：
11.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
12.根据权利要求11所述的扬声器，其中：
13.根据权利要求11所述的扬声器，其中：
14.根据权利要求13所述的扬声器，其中：
15.根据权利要求11所述的扬声器，其中：
16.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
17.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
18.根据权利要求3所述的扬声器，其中：
19.根据权利要求2所述的扬声器，其中：
20...
【专利技术属性】
技术研发人员：张孟伦，徐林炳，孙铭超，庞慰，
申请(专利权)人：广州乐仪投资有限公司，
类型：发明
国别省市：
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