本发明涉及一种MEMS扬声器、一种MEMS扬声器的制造方法以及包括其的电子设备。该MEMS扬声器包括：振膜，振膜的一端固定且另一端与另一部件之间设置有振动用空间；可拉伸膜，分别与振膜和另一部件连接，且填充或者覆盖至少部分振动用空间。本发...

本申请提供一种MEMS扬声器阵列，涉及MEMS扬声器领域，用于解决MEMS扬声器的发声效率和工作带宽无法同时满足的技术问题，该MEMS扬声器包括基底和设置在基底上的振膜单元阵列，振膜单元阵列包括至少两个间隔设置的振膜单元，且至少两个振膜...

本发明公开了一种鳍片结构扬声器及其形成方法。该鳍片结构扬声器包括周围框架和位于周围框架内的多个扬声鳍片，扬声鳍片包括：鳍片基底；位于鳍片基底的两个垂直侧壁的表面、厚度不均匀的压电层。根据本发明的技术方案，鳍片扬声器的每个鳍片结构的垂直侧...