【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例涉及半导体制造领域，尤其涉及一种运行轨道及自动化传输系统。
技术介绍
1、在半导体制造工厂里，以前都是以stk(stocker，仓储)为主，通常通过人力将物料搬运到机台上进行生产，人力成本占整个晶圆制造的比例很低。但随着半导体技术的飞速发展，晶圆的尺寸逐渐增大，晶圆的整体重量也由原先的也随之增大，人工搬送已经无法满足生产的需要，同时加上人员安全、产品良率以及产能效率等因素的考虑，对于工厂的自动化系统提出了更高的要求，为了解决快速稳定的物料传递问题，自动化传输系统(automatic material handling system，amhs)应运而生。
2、生产车间的自动化传输系统通常采用轨道实现产品的传输，但是，如何提升生产车间的运行轨道成本成为一重要课题。
技术实现思路
1、本专利技术实施例解决的问题是提供一种运行轨道及自动化传输系统，提升生产车间的轨道成本。
2、为解决上述问题，本专利技术实施例提供一种生产车间的运行轨道，生产车间包括多个加工区...
【技术保护点】
1.一种生产车间的运行轨道，所述生产车间包括多个加工区，所述加工区中设置有多个机台组，所述机台组包括多个机台，其特征在于，所述运行轨道用于固定悬空传输装置、并使所述悬空传输装置沿所述运行轨道进行传输，所述运行轨道包括：
2.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，在同一所述机台组中，多个所述机台位于同一行，且多个所述机台的取放货端口均朝向同一侧；
3.如权利要求1或2所述的运行轨道，其特征在于，在所述加工区中，多个所述机台呈矩阵式间隔排布。
4.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述机台组内分支轨道包括并列分立设置的两条横向轨...
【技术特征摘要】
1.一种生产车间的运行轨道，所述生产车间包括多个加工区，所述加工区中设置有多个机台组，所述机台组包括多个机台，其特征在于，所述运行轨道用于固定悬空传输装置、并使所述悬空传输装置沿所述运行轨道进行传输，所述运行轨道包括：
2.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，在同一所述机台组中，多个所述机台位于同一行，且多个所述机台的取放货端口均朝向同一侧；
3.如权利要求1或2所述的运行轨道，其特征在于，在所述加工区中，多个所述机台呈矩阵式间隔排布。
4.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述机台组内分支轨道包括并列分立设置的两条横向轨道，分别为第一横向轨道和第二横向轨道，所述机台组内分支轨道还包括连接所述第一横向轨道和第二横向轨道的第一纵向轨道，所述第一横向轨道和第二横向轨道中未与第一纵向轨道相连的一端与所述主运行轨道相连接；
5.如权利要求1所述的运行轨道，其特征在于，所述机台组内分支轨道包括并列分立设置的两条横向轨道，分别为第一横向轨道和第二横向轨道，所述机台组内分支轨道还包括连接所述第一横向轨道和第二横向轨道的第一纵向轨道，所述第一横向轨道和第二横向轨道中未与第一纵向轨道相连的一端与所述主运行轨道相连接；
6.如权利要求5所述的运行轨道，其特征在于，所述机台组内分支轨道还包括：第二纵向轨道，位于所述加工区的边...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐有超，周毅仲，孙俊丽，房小飞，白雪，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：发明
国别省市：
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