【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种抛光液输送结构及抛光装置。
技术介绍
1、在晶圆减薄机磨削减薄后，通常会使晶圆表面产生磨轮痕迹，从而产生晶圆表面不平整、外观不美观和移载工具吸附不起来等不良因素，需要有精磨抛光工序，利用抛光垫将晶圆表面处理下，使其表面平整。抛光垫需要在抛光液的加持下对晶圆表面进行抛光，抛光液存储在外部储存设备，而目前的抛光液输送，采用在抛光装置外部有个固定的抛光液输送接口，输送接口连接有可调整长短和方向的管子，通过管子将抛光液直接输送至晶圆表面，但是此种方式导致抛光液喷到晶圆表面后，会因为工作台旋转离心力，使一部分抛光液未被抛光垫利用而带离晶圆表面，造成抛光液的浪费。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种抛光液输送结构及抛光装置，避免通过管道从外部直接输送抛光液至晶圆表面造成抛光液的浪费。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、抛光液输送结构，其特征在于，包括：
4、旋转轴，所述旋转轴设置贯穿的第二通道，所述旋转轴连接外部驱动机构以被驱动旋转，所述第二通道的第一端被配置为连接外部供液机构；
5、抛光座，所述抛光座内设置有分液腔，所述抛光座的上端面设置有与所述分液腔连通的第一进液孔，所述旋转轴可拆卸连接于所述抛光座的上端面，以能够使所述第二通道的第二端连接所述第一进液孔；所述抛光座的下端面均匀分布若干与所述分液腔连通的分液孔。
6、作为优选，还包括旋转接头，所述旋转接头设置有贯穿的第一通道，所
7、作为优选，所述旋转接头插进所述第二通道的第一端内，所述第二通道内设置有第一限位阶梯，所述旋转接头设置有与所述第一限位阶梯配合的第二限位阶梯。
8、作为优选，还包括调整块，所述调整块设置有第三通道，所述旋转轴连接所述调整块的一端，以使所述第二通道的第二端连接所述第三通道的第一端；所述抛光座的上端面连通所述调整块背离所述旋转轴的一侧，以使所述第三通道的第二端连通所述第一进液孔；所述调整块被配置为调节所述抛光座的倾斜度。
9、作为优选，所述调整块包括：第一固定块；所述第一固定块设置有沿着轴向贯穿的阶梯腔，所述阶梯腔包括同轴设置的大径段和小径段；
10、第二固定块，所述第二固定块滑接在所述大径段内，所述第二固定块的尺寸小于所述大径段的尺寸，所述第二固定块背离所述小径段的一侧具有抵接凸块，所述第二固定块与所述旋转轴可拆卸连接；
11、第三固定块，所述第三固定块与所述第一固定块连接以封堵所述大径段的开口处，所述第三固定块面向所述大径段的一侧设置有与所述抵接凸块的端面配合的抵接槽，所述抵接凸块能够抵接在所述抵接槽内自由偏转；所述第三固定块背离所述抵接槽的一侧连接所述抛光座；
12、所述第三通道贯穿所述第二固定块以及所述第三固定块。
13、作为优选，所述第二固定块背离抵接凸块的一侧设置有沿轴向的第二进液孔，所述第二通道的第二端连通所述第二进液孔；所述第二固定块的侧部还设置有与所述第二进液孔连通的第一导液孔；
14、所述第三固定块的侧部设置有第二导液孔，所述第二导液孔连通所述第一导液孔，所述第三固定块背离所述抵接槽的端面设置有出液孔，所述出液孔的一端与所述第二导液孔连通，所述出液孔的另一端连通所述第一进液孔；
15、所述第三通道为依次经过所述第二进液孔、所述第一导液孔、所述第二导液孔以及所述出液孔形成的通道。
16、作为优选，所述第一导液孔以及所述第二导液孔分别插接有连接接头，两个所述连接接头通过连接管连接。
17、作为优选，所述第一导液孔与所述第二导液孔的朝向相反。
18、作为优选，所述分液孔设置五个，其中一个所述分液孔位于所述抛光座的中心，其余所述分液孔围绕所述抛光座的中心周向分布。
19、还提供一种抛光装置，包括驱动件，以及如权利上所述的抛光液输送结构，所述驱动件驱动所述旋转轴旋转。
20、本技术的有益效果：
21、通过上述的旋转轴以及抛光座中的第二通道以及第三通道使抛光液能够从内部直接输送至抛光座上，使抛光液全部作用于抛光位置，避免通过管道从外部直接输送抛光液至晶圆表面造成抛光液的浪费。
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1.抛光液输送结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的抛光液输送结构，其特征在于，还包括旋转接头(4)，所述旋转接头(4)设置有贯穿的第一通道(41)，所述第一通道(41)的第一端被配置为连接所述外部供液机构，所述旋转轴(1)转动插接于所述旋转接头(4)上，以使所述第一通道(41)的第二端连通所述第二通道(11)的第一端。
3.根据权利要求2所述的抛光液输送结构，其特征在于，所述旋转接头(4)插进所述第二通道(11)的第一端内，所述第二通道(11)内设置有第一限位阶梯，所述旋转接头(4)设置有与所述第一限位阶梯配合的第二限位阶梯。
4.根据权利要求1所述的抛光液输送结构，其特征在于，还包括调整块(2)，所述调整块(2)设置有第三通道，所述旋转轴(1)连接所述调整块(2)的一端，以使所述第二通道(11)的第二端连接所述第三通道的第一端；所述抛光座(3)的上端面连通所述调整块(2)背离所述旋转轴(1)的一侧，以使所述第三通道的第二端连通所述第一进液孔(32)；所述调整块(2)被配置为调节所述抛光座(3)的倾斜度。
5.根据权利
6.根据权利要求5所述的抛光液输送结构，其特征在于，所述第二固定块(22)背离抵接凸块(221)的一侧设置有沿轴向的第二进液孔(222)，所述第二通道(11)的第二端连通所述第二进液孔(222)；所述第二固定块(22)的侧部还设置有与所述第二进液孔(222)连通的第一导液孔(223)；
7.根据权利要求6所述的抛光液输送结构，其特征在于，所述第一导液孔(223)以及所述第二导液孔(232)分别插接有连接接头(24)，两个所述连接接头(24)通过连接管连接。
8.根据权利要求6所述的抛光液输送结构，其特征在于，所述第一导液孔(223)与所述第二导液孔(232)的朝向相反。
9.根据权利要求1所述的抛光液输送结构，其特征在于，所述分液孔(33)设置五个，其中一个所述分液孔(33)位于所述抛光座(3)的中心，其余所述分液孔(33)围绕所述抛光座(3)的中心周向分布。
10.抛光装置，其特征在于，包括驱动件(5)，以及如权利要求1-9任一所述的抛光液输送结构，所述驱动件(5)驱动所述旋转轴(1)旋转。
...【技术特征摘要】
1.抛光液输送结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的抛光液输送结构，其特征在于，还包括旋转接头(4)，所述旋转接头(4)设置有贯穿的第一通道(41)，所述第一通道(41)的第一端被配置为连接所述外部供液机构，所述旋转轴(1)转动插接于所述旋转接头(4)上，以使所述第一通道(41)的第二端连通所述第二通道(11)的第一端。
3.根据权利要求2所述的抛光液输送结构，其特征在于，所述旋转接头(4)插进所述第二通道(11)的第一端内，所述第二通道(11)内设置有第一限位阶梯，所述旋转接头(4)设置有与所述第一限位阶梯配合的第二限位阶梯。
4.根据权利要求1所述的抛光液输送结构，其特征在于，还包括调整块(2)，所述调整块(2)设置有第三通道，所述旋转轴(1)连接所述调整块(2)的一端，以使所述第二通道(11)的第二端连接所述第三通道的第一端；所述抛光座(3)的上端面连通所述调整块(2)背离所述旋转轴(1)的一侧，以使所述第三通道的第二端连通所述第一进液孔(32)；所述调整块(2)被配置为调节所述抛光座(3)的倾斜度。
5.根据权利要求4所述的抛光液...
【专利技术属性】
技术研发人员：万先进，胡孟杰，李俊，尤国振，张怀东，朱松，边逸军，
申请(专利权)人：宁波芯丰精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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