【技术实现步骤摘要】
本技术属于化学品存储领域，尤其涉及一种超高纯化学品储罐氮封控压系统。
技术介绍
1、电子级的超高纯化学品对于杂质含量要求极高，因此超高纯化学品的储罐必须使用氮封，以防止化学品被污染，目前一般采用自力式调节阀进行控制，当压力低于自力式调节阀的设定值时，自动进行补气，但压力高于泄压压力时，开启排放阀进行排放。现有的这种氮封存在几个问题，第一，当压力在自力式调节阀设置值附近波动时，自力式调节阀将会频繁开闭，这样容易损坏阀门；第二，当压力在排放压力设定值附近波动时，排放阀门也会频繁出现波动，而一般排放管道品质较差，频繁的开闭将可能影响产品品质；第三，自力式调压阀的故障率相对于气动开关阀要高，如果调压阀失效，氮封将会直接失效。
技术实现思路
1、针对上述自力式调节阀在频繁使用时容易损坏、容易影响产品品质、氮封容易失效的技术问题。
2、本技术提供一种超高纯化学品储罐氮封控压系统，包括：控制箱通过压力变送器与储罐相连，保证整个氮封处于微正压状态；
3、控制箱通过尾气气动开关阀与储罐相连；
4、控制箱通过氮气气动开关阀与储罐相连。
5、所述的储罐通过尾气气动开关阀与尾气气液分离器在尾气排气管上相连，避免尾气中的冷凝液回流至储罐内污染产品。
6、所述的尾气气液分离器底部设置冷凝液排放管。
7、氮气过滤器通过氮气气动开关阀与储罐在氮气管上相连。
8、作为优选方案中，控制箱内采用plc控制器；
9、作为优选方
10、作为优选方案中，氮气过滤器为高纯高精度过滤器。
11、本技术的有益效果：
12、本专利氮封系统采用微正压氮封，一般高纯化学的储存需采用内衬储罐，然而内衬储罐不能达到压力容器的标准，因此微正压氮封可避免设备必须制作为压力容器，此外，专利氮封所采用的氮气为高纯氮气，且在进入系统前进行再次过滤，这样可避免污染化学品。此外，本套系统采用自动控压，可避免在储罐出料时，储罐内成负压，从而吸入空气而污染储罐或化学品，也可避免伤害储罐内衬层，同时也可避免储罐在入料时，罐内压力过高，从而导致入料不顺，也可避免超过储罐的设计压力。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1. 超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于： 控制箱（5）通过压力变送器（2）与储罐（1）相连；
2.根据权利要求1所述的超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于：所述的储罐（1）通过尾气气动开关阀（4-1）与尾气气液分离器（4-2）在尾气排气管（4）上相连。
3.根据权利要求2所述的超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于：所述的尾气气液分离器（4-2）底部设置冷凝液排放管（6）。
4.根据权利要求1所述的超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于：氮气过滤器（3-2）通过氮气气动开关阀（3-1）与储罐（1）在氮气管（3）上相连。
【技术特征摘要】
1. 超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于： 控制箱（5）通过压力变送器（2）与储罐（1）相连；
2.根据权利要求1所述的超高纯化学品储罐氮封控压系统，其特征在于：所述的储罐（1）通过尾气气动开关阀（4-1）与尾气气液分离器（4-2）在尾气排气管（4）上相连。
【专利技术属性】
技术研发人员：杨洁，彭飞，许雍和，李万富，王雪梅，郭江山，
申请(专利权)人：湖北兴力电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。