支腿及具有该支腿的单晶炉加热器制造技术

本技术涉及单晶生产设备技术领域，提供一种支腿及具有该支腿的单晶炉加热器，包括立板，与发热圈相连接；脚板，与立板一体成型构成L型结构；其中，立板下部两侧以圆弧过渡的形式向内收窄，且与脚板前后侧面齐平。立板下部向内收窄，脚板跟着变窄，电阻得以减小，使得这些离石英坩埚较远的部位产生的发热量大大减少，从而降低对石英坩埚的热辐射，进而减少硅液与石英坩埚底部的反应，降低SiO等氧化物的含量，最终降低单晶硅棒中氧杂质的含量,提高单晶硅棒的品质，同时能够减少无效发热、热量浪费的情况，降低整个加热器所需的外加电源功率，再者变窄的脚板，还可以减少其与热场底部其它部件之间发生打火现象的几率，延长支腿的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及单晶生产设备，具体涉及一种支腿及具有该支腿的单晶炉加热器。

技术介绍

1、在单晶拉制过程中，加热器的结构对正常生产过程至关重要，这是因为加热器不仅可以调节热场中的温度梯度，而且还可以在一定程度上影响单晶硅棒的品质。具体地讲，单晶硅棒的品质与其碳、氧等杂质的含量有关，其中氧主要来源于硅液与石英坩埚底部的反应（sio2+si—2sio），即：单晶硅棒中的氧同源于硅液，硅液在拉制成单晶硅棒的过程中，氧元素会进入单晶硅棒中形成杂质；而硅液与石英坩埚底部的反应剧烈程度又与加热器对石英坩埚辐射热量的多少有关。因此，加热器的结构对单晶硅棒的品质有一定影响。

2、目前，现有单晶炉加热器的结构存在以下缺陷：

3、1、支腿离石英坩埚较远，其电阻偏高，发热量较大，对石英坩埚辐射的热量较多，不利于氧含量的降低和单晶硅棒品质的提高，同时有效加热少（存在无效发热、热量浪费的情况），导致整个加热器所需的外加电源功率较大；

4、2、支腿的脚板厚度较薄，容易产生裂纹，使用寿命短，稳定性差；

5、3、支腿的脚板宽度较宽，容易与热场底部本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.支腿，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的支腿，其特征在于，所述立板下部两侧的圆弧半径为20mm。

3.根据权利要求1或2所述的支腿，其特征在于，所述立板下部与所述脚板连接处的内侧具有一圆角，该圆角半径为50mm。

4.根据权利要求3所述的支腿，其特征在于：

5.单晶炉加热器，其特征在于，包括发热圈，所述发热圈通过一对权利要求1～4中任意一项所述的支腿支撑于单晶炉底。

6.根据权利要求5所述的单晶炉加热器，其特征在于：

7.根据权利要求6所述的单晶炉加热器，其特征在于：

8.根据权利要求6或7...

【技术特征摘要】

1.支腿，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的支腿，其特征在于，所述立板下部两侧的圆弧半径为20mm。

3.根据权利要求1或2所述的支腿，其特征在于，所述立板下部与所述脚板连接处的内侧具有一圆角，该圆角半径为50mm。

4.根据权利要求3所述的支腿，其特征在于：

5.单晶炉加...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈效贤，龚小伦，乃家旺，
申请(专利权)人：四川永祥光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：