一种电加热水洗式尾气处理设备及其尾气处理工艺制造技术

本发明专利技术提供了一种电加热水洗式尾气处理设备，包括进气管、主腔体、加热棒、反应腔、锥形集水器、前段三通、第一下水管、三通连接管、第二下水管、水箱、后段三通和排气腔，所述进气管与主腔体连接，所述加热棒设置于主腔体上且伸入至反应腔内，所述主腔体与反应腔连接，所述反应腔的下端与锥形集水器连接，所述锥形集水器与前段三通连接，所述前段三通的下端与第一下水管连接，所述第一下水管伸入至水箱内，所述后段三通的下端与第二下水管连接，所述后段三通连接排气腔。本发明专利技术还提供了一种电加热水洗式尾气处理工艺。本发明专利技术提出的一种电加热水洗式尾气处理设备，防止进气管的管道弯管处堵塞，提高了尾气的处理效率，而且工艺安全。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体尾气处理领域，尤其涉及一种电加热水洗式尾气处理设备及其尾气处理工艺。

技术介绍

1、随着5g技术、物联网、人工智能、大数据、云计算等新基建的顺利推进，半导体行业高速发展。半导体行业是电子信息制造业重要的子行业之一，属于高新技术产业，往往被误解为“清洁”产业，但事实上，在清洗、光刻、去胶、烘干等工艺中需使用大量的酸、碱及有机溶剂和多种特殊气体，整个生产过程尾气产量大、种类多。大量挥发性的有机污染物进入大气中不但会对自然生态造成巨大破坏，而且也对人们的身心健康产生严重威胁。

2、未经过处理的尾气排放将会对环境造成的污染、对先进半导体制程造成很大的影响，所以一定要积极做好尾气排放的处理和控制。而尾气处理装置是半导体行业中必不可少的配套装置，其使半导体工厂排放尾气中的有毒有害物质及烟尘得到净化，或使其在处理后达到排放标准，减轻对环境的污染，减少大气污染和对人体健康的危害。

3、半导体的热扩散工艺，是指在高温下(800～1100℃)，将掺杂源(磷烷、砷烷、三氯化硼等)与硅表面反应释放出杂质原子，并由表面的高浓度区向内部的低本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电加热水洗式尾气处理设备，其特征在于，包括进气管(100)、主腔体(170)、加热棒(160)、反应腔(180)、锥形集水器(190)、前段三通(260)、第一下水管(270)、三通连接管(280)、第二下水管(290)、水箱(300)、后段三通(310)和排气腔(320)，所述进气管(100)与主腔体(170)连接，所述加热棒(160)设置于主腔体(170)上且伸入至反应腔(180)内，所述主腔体(170)与反应腔(180)连接，所述反应腔(180)的下端与锥形集水器(190)连接，所述锥形集水器(190)与前段三通(260)连接，所述前段三通(260)的下端与第一下水管(27...

【技术特征摘要】

1.一种电加热水洗式尾气处理设备，其特征在于，包括进气管(100)、主腔体(170)、加热棒(160)、反应腔(180)、锥形集水器(190)、前段三通(260)、第一下水管(270)、三通连接管(280)、第二下水管(290)、水箱(300)、后段三通(310)和排气腔(320)，所述进气管(100)与主腔体(170)连接，所述加热棒(160)设置于主腔体(170)上且伸入至反应腔(180)内，所述主腔体(170)与反应腔(180)连接，所述反应腔(180)的下端与锥形集水器(190)连接，所述锥形集水器(190)与前段三通(260)连接，所述前段三通(260)的下端与第一下水管(270)连接，所述第一下水管(270)伸入至水箱(300)内，所述前段三通(260)的一侧通过三通连接管(280)与后段三通(310)连接，所述后段三通(310)的下端与第二下水管(290)连接，所述第二下水管(290)伸入至水箱(300)内，所述后段三通(310)连接排气腔(320)。

2.根据权利要求1所述的一种电加热水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述排气腔(320)包括锥形排气腔(321)、第一排气腔(322)、第二排气腔(323)和酸排出管(324)；所述锥形排气腔(321)的一端与后段三通(310)通过法兰连接，另一端与第一排气腔(322)通过法兰固定连接；所述第一排气腔(322)与第二排气腔(323)通过法兰固定连接；所述第二排气腔(323)与酸排出管(324)通过法兰固定连接；所述第一排气腔(322)包括第一过滤网(3221)，所述第一过滤网(3221)设置于第一排气腔(322)的底端且靠近锥形排气腔(321)，所述第二排气腔(323)包括第一环形过滤网(3231)、第一套管(3232)、第二环形过滤网(3233)和第二套管(3234)，所述第一环形过滤网(3231)设置于第二排气腔(323)的壳体和第一套管3232之间，所述第一套管(3232)的底部为阻挡尾气排出的第一挡板(3235)，所述第一套管(3232)的顶部与第二环形过滤网(3233)抵接，所述第二环形过滤网(3233)设置于第二排气腔(323)的壳体和第二套管(3234)之间，所述第一套管(3232)和第二排气腔(323)的壳体之间具有第一间隙(3237)，所述第二套管(3234)的底部与第一挡板(3235)具有间隔，所述第二套管(3234)的顶部设置有阻挡尾气排出的第二挡板(3236)，所述第二挡板(3236)与第二环形过滤网(3233)之间具有第二间隙(3238)，所述第二套管(3234)与第一套管(3232)之间具有第三间隙(3239)。

3.根据权利要求1所述的一种电加热水洗式尾气处理设备，其特征在于，进气管(100)还设置有刮刀结构(140)，所述刮刀结构(140)包括刮刀气缸(1401)、第一螺母(1402)、活塞杆连接柱(1403)、垫片(1404)、活塞杆密封筒(1405)、固定销垫片(1406)、弹簧固定销(1407)、弹簧刮刀接头(1408)、刮刀弹簧(1409)和刮刀气动快插接头(1410)，所述刮刀气缸(14...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔汉博，崔汉宽，陈刚，王占杰，
申请(专利权)人：上海高笙集成电路设备有限公司，
类型：发明
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