【技术实现步骤摘要】
本技术涉及密封垫片,尤其涉及一种自带定位环的金属密封圈。
技术介绍
1、密封圈在两个部件连接关系中起到重要的密封作用,使两个部件之间的间隙得到减小,密封圈自身的结构以及材料的选择对其密封性能和使用寿命有着重要意义。而半导体真空设备上法兰、管件、仪器仪表接头处的密封圈对真空环境下的密封性能有一定的要求。
2、相关技术中的对在半导体真空设备接头处的密封通常采用平面垫片或橡胶垫片,但是平面垫片和橡胶垫片不能在真空工况(超真空工况)中持续保持较好的密封性能,有密封泄露的风险,影响半导体真空设备的正常使用。
技术实现思路
1、本技术旨在至少在一定程度上解决上述技术中的技术问题之一。
2、为此,本技术的第一个目的在于提出一种自带定位环的金属密封圈,能够在各种真空(超真空)的工作环境中,保持较高的密封性和稳定性。
3、为达到上述目的,本技术第一方面实施例提出了一种自带定位环的金属密封圈,包括:密封圈本体,所述密封圈本体的环体横截面向同一侧形成两个自由端,所述两个自由端之间形成向内凹陷的曲线形。
4、本技术实施例的一种自带定位环的金属密封圈,能够通过精密且易于压缩的柔性密封圈本体,在各种真空(超真空)的工作环境中,保持较高的密封性和稳定性。
5、另外,根据本技术上述实施例提出的自带定位环的金属密封圈还可以具有如下附加的技术特征:
6、具体的,还包括:定位环,所述定位环设置在所述密封圈本体内,且所述定位环圆周外围端过盈配合在所述
7、具体的,所述密封圈本体上部的自由端的侧边线倾斜设置,其中,所述侧边线与水平面成一定锐角。
8、具体的,所述密封圈本体下部的自由端的端面成斜面,与所述上部自由端的斜面结构相同且对称设置。
9、具体的,所述侧边线的端点与所述环体横截面的内侧的连接处为目标连接位。
10、具体的,所述定位环的横截面呈方形,且所述定位环与所述密封圈本体同轴设置。
11、具体的,所述定位环分别与两个所述目标连接位相连。
12、具体的,所述密封圈本体两端面对称设置有两个密封凸起,其中,所述密封凸起呈环状,且所述密封凸起的横截面呈等腰梯形。
13、具体的,所述密封凸起与所述密封圈本体同轴设置,所述密封凸起的一端与所述密封圈端部相连,所述密封凸起的另一端与所述密封圈本体的端面平行。
14、具体的,所述密封圈本体两端做倒角处理。
15、本技术附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本技术的实践了解到。
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1.一种自带定位环的金属密封圈,其特征在于,包括:密封圈本体,所述密封圈本体的环体横截面向同一侧形成两个自由端,所述两个自由端之间形成向内凹陷的曲线形;
2.根据权利要求1所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,还包括:定位环,所述定位环设置在所述密封圈本体内,且所述定位环圆周外围端过盈配合在所述密封圈本体的两自由端之间。
3.根据权利要求2所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述密封圈本体下部的自由端的端面成斜面,与所述上部自由端的斜面结构相同且对称设置。
4.根据权利要求3所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述侧边线的端点与所述环体横截面的内侧的连接处为目标连接位。
5.根据权利要求2所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述定位环的横截面呈方形,且所述定位环与所述密封圈本体同轴设置。
6.根据权利要求4所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述定位环分别与两个所述目标连接位相连。
7.根据权利要求1所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述密封圈本体两端面对称设置有两个密封凸
8.根据权利要求7所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述密封凸起与所述密封圈本体同轴设置,所述密封凸起的一端与所述密封圈端部相连,所述密封凸起的另一端与所述密封圈本体的端面平行。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述密封圈本体两端做倒角处理。
...【技术特征摘要】
1.一种自带定位环的金属密封圈,其特征在于,包括:密封圈本体,所述密封圈本体的环体横截面向同一侧形成两个自由端,所述两个自由端之间形成向内凹陷的曲线形;
2.根据权利要求1所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,还包括:定位环,所述定位环设置在所述密封圈本体内,且所述定位环圆周外围端过盈配合在所述密封圈本体的两自由端之间。
3.根据权利要求2所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述密封圈本体下部的自由端的端面成斜面,与所述上部自由端的斜面结构相同且对称设置。
4.根据权利要求3所述的自带定位环的金属密封圈,其特征在于,所述侧边线的端点与所述环体横截面的内侧的连接处为目标连接位。
5.根据权利要求2所述的自带定位环的金属密封圈...
【专利技术属性】
技术研发人员:项文武,黄国婵,
申请(专利权)人:尚固上海工业科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
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