【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体器件领域，具体而言，涉及一种过滤装置及过滤设备。
技术介绍
1、现有技术中，asm机台中tarp滤芯通常用紧绕铁丝过滤，然而在使用中无法通过自行清理，达到根本性清理，例如，通过用水浸泡，然而在asm机台中的沉积物，例如tes结晶微溶于水，水洗效果差，且在通过水洗后经过烘烤会导致结晶松散，从而导致后续在安装过程中，导致结晶颗粒脱落影响pump使用寿命，亦导致前端管路被结晶颗粒污染。
2、且现有的tarp滤芯为整体式，无法进行拆卸，委外进行送洗，其耗时长成本高，因此急需一种方案以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种过滤装置及过滤设备，提供一种新型滤芯方式，通过卡槽填充滤芯，使得滤芯之间交替排布，并将滤芯进行分块组装，以提高过滤效能，降低清洁成本。
2、本技术提供一种技术方案：
3、第一方面，一种过滤装置，包括：固定件、至少两个的滤芯以及至少一个滤芯承载网；所述滤芯承载网上设置卡槽；所述滤芯上设置有过滤网孔；
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【技术保护点】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：固定件、至少两个的滤芯以及至少一个滤芯承载网；所述滤芯承载网上设置卡槽；所述滤芯上设置有过滤网孔；
2.根据权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述卡槽不均匀排布在所述滤芯承载网上。
3.根据权利要求2所述的一种过滤装置，其特征在于，所述卡槽包括层次式叠放卡槽，以使所述滤芯以层叠式排布在所述滤芯承载网。
4.根据权利要求2所述的一种过滤装置，其特征在于，所述卡槽还包括阶梯式卡槽，以使所述滤芯非均匀排布在所述滤芯承载网。
5.根据权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述固定件...
【技术特征摘要】
1.一种过滤装置，其特征在于，包括：固定件、至少两个的滤芯以及至少一个滤芯承载网；所述滤芯承载网上设置卡槽；所述滤芯上设置有过滤网孔；
2.根据权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述卡槽不均匀排布在所述滤芯承载网上。
3.根据权利要求2所述的一种过滤装置，其特征在于，所述卡槽包括层次式叠放卡槽，以使所述滤芯以层叠式排布在所述滤芯承载网。
4.根据权利要求2所述的一种过滤装置，其特征在于，所述卡槽还包括阶梯式卡槽，以使所述滤芯非均匀排布在所述滤芯承载网。
5.根据权利要求1所述的一种过滤装置，其特征在于，所述固定件包括至少一个的第一固定件；
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【专利技术属性】
技术研发人员：郁明亚，唐青青，梁维建，
申请(专利权)人：捷捷微电南通科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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