【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及样品调整领域，特别涉及一种样品的调节扫描装置和方法。
技术介绍
1、高次谐波(high harmonic generation,hhg)极紫外光源在材料表征方面应用潜力巨大，近年来，hhg的产生已称为超快物理、精密测量物理、凝聚态物理等领域令人感兴趣的重要内容，也是目前各国科学竞争发展的重要方向。其中，hhg产生主要是气体hhg的产生和固体hhg产生，但是基于气体产生方法中气体的稳定性差，不好控制，需要的设备相对复杂，出光效率低。相比较而言，固体hhg的产生稳定性好，更加可控，出光效率高，极大降低驱动光脉冲脉冲能量要求。
2、现有技术中，针对于固定hhg，调节和扫描结构通常只能在单一空间进行调节，无法实现观测点样品的全面积扫描。因此，需要提供一种样品的调节扫描装置和方法。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种样品的调节扫描装置和方法。以解决现有技术中，无法全方位扫描样品的问题。
2、本专利技术提供的一种样品的调节扫描装置，包括：
3、底板；
4、第一平移台滑动设置在所述底板上，并相对于所述底板沿第一方向滑动；
5、第二平移台滑动设置在所述第一平移台上，并相对于所述第一平移台沿第二方向滑动；
6、第三平移台滑动设置在所述第二平移台上，并相对于所述第二平移台沿第三方向滑动；
7、电机安装在所述第三平移台上；
8、旋转组件安装在所述电机上，并在所述电机的带动下旋转。
10、于本专利技术一实施例中，所述电机上安装有导电环。
11、于本专利技术一实施例中，所述电机为旋转电机，所述支撑架为圆环型，所述支撑架与所述旋转电机同轴设置。
12、于本专利技术一实施例中，所述压电促动器的固定端安装在所述支撑架上，并与所述导电环电连接，所述压电促动器的伸缩端穿过所述支撑架与所述装夹体相接触，并在所述导电环的作用下，调整所述装夹体的端面与所述支撑架的轴向相垂直。
13、于本专利技术一实施例中，所述弹性体为弹簧。
14、于本专利技术一实施例中，所述电机上固接有限位开关，所述支撑架上安装有与所述限位开关匹配的限位拨片。
15、在本专利技术的另一方面，还提供了一种样品的调节扫描方法，应用于调整上述任一项所述的旋转组件的转动轨迹，所述旋转组件的转动轨迹是基于运动轨迹的预测方法获得，所述运动轨迹的预测方法为：
16、获取观测点在样品上初始时刻的半径，及所述样品转动的线速度；
17、基于所述初始位置的半径及样品转动的线速度，获取观测点在所述样品上第一时刻的半径；其中，所述第一时刻与所述初始时刻间隔有一个时间周期，所述半径为观测点在所述样品上当前时刻的位置相对于样品中心的距离；
18、基于观测点在所述样品上第一时刻的半径及样品转动的线速度，预测观测点在所述样品上待预测时刻的位置；其中，所述待预测时刻与所述第一时刻之间，间隔有一个或多个相同的时间周期。
19、于本专利技术一实施例中，所述观测点在待预测时刻的线速度与所述观测点在第一时刻的线速度相同。
20、于本专利技术一实施例中，所述基于所述初始位置的半径及样品转动的线速度，获取观测点在所述样品上第一时刻的半径，包括：
21、基于所述样品转动的线速度，以及所述时间周期，获取所述观测点的移动距离；
22、基于所述观测点的移动距离，与所述初始时刻的半径，获取所述观测点在所述样品上第一时刻的半径。
23、本专利技术提出的一种样品的调节扫描装置和方法，通过将第一平移台滑动安装在底板上，将第二平移台滑动安装在第一平移台上，将第三平移台滑动安装在第二平移台上。且旋转组件可转动安装在第三平移台上，从而在进行样品的姿态调节时，通过调整不同平移台的位置，以及旋转组件的转动角度，实现平移台和旋转组件的联动，可在六维不同的方向对样品进行姿态调整，实现了样品的全面积扫描，从而有效保证样品端面的动态扫描精度。
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1.一种样品的调节扫描装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述旋转组件包括支撑架和装夹体，所述支撑架套接在所述电机上，所述支撑架和所述装夹体之间设置有相互配合的弹性体和压电促动器。
3.根据权利要求2所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述电机上安装有导电环。
4.根据权利要求3所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述电机为旋转电机，所述支撑架为圆环型，所述支撑架与所述旋转电机同轴设置。
5.根据权利要求4所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述压电促动器的固定端安装在所述支撑架上，并与所述导电环电连接，所述压电促动器的伸缩端穿过所述支撑架与所述装夹体相接触，并在所述导电环的作用下，调整所述装夹体的端面与所述支撑架的轴向相垂直。
6.根据权利要求2所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述弹性体为弹簧。
7.根据权利要求2所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述电机上固接有限位开关，所述支撑架上安装有与所述限位开关匹配的限位拨片。
8.一种样品
9.根据权利要求8所述的样品的调节扫描方法，其特征在于，所述观测点在待预测时刻的线速度与所述观测点在第一时刻的线速度相同。
10.根据权利要求8所述的样品的调节扫描方法，其特征在于，所述基于所述初始位置的半径及样品转动的线速度，获取观测点在所述样品上第一时刻的半径，包括：
...【技术特征摘要】
1.一种样品的调节扫描装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述旋转组件包括支撑架和装夹体，所述支撑架套接在所述电机上，所述支撑架和所述装夹体之间设置有相互配合的弹性体和压电促动器。
3.根据权利要求2所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述电机上安装有导电环。
4.根据权利要求3所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述电机为旋转电机，所述支撑架为圆环型，所述支撑架与所述旋转电机同轴设置。
5.根据权利要求4所述的样品的调节扫描装置，其特征在于，所述压电促动器的固定端安装在所述支撑架上，并与所述导电环电连接，所述压电促动器的伸缩端穿过所述支撑架与所述装夹体相接触，并在所述导电环的作用下，调整所述装夹体的端面与所述支撑架的轴向...
【专利技术属性】
技术研发人员：耿继宝，卢杰，李朝阳，
申请(专利权)人：安徽创谱仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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