样品的调节扫描装置和方法制造方法及图纸

技术编号:40604166 阅读:20 留言:0更新日期:2024-03-12 22:09
本发明专利技术涉及提供一种样品的调节扫描装置和方法。装置包括:底板;第一平移台,滑动设置在所述底板上,并相对于所述底板沿第一方向滑动;第二平移台,滑动设置在所述第一平移台上,并相对于所述第一平移台沿第二方向滑动;第三平移台,滑动设置在所述第二平移台上,并相对于所述第二平移台沿第三方向滑动;电机,安装在所述第三平移台上;旋转组件,安装在所述电机上,并在所述电机的带动下旋转。实现了样品的全面积扫描,从而有效保证样品端面的动态扫描精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及样品调整领域,特别涉及一种样品的调节扫描装置和方法


技术介绍

1、高次谐波(high harmonic generation,hhg)极紫外光源在材料表征方面应用潜力巨大,近年来,hhg的产生已称为超快物理、精密测量物理、凝聚态物理等领域令人感兴趣的重要内容,也是目前各国科学竞争发展的重要方向。其中,hhg产生主要是气体hhg的产生和固体hhg产生,但是基于气体产生方法中气体的稳定性差,不好控制,需要的设备相对复杂,出光效率低。相比较而言,固体hhg的产生稳定性好,更加可控,出光效率高,极大降低驱动光脉冲脉冲能量要求。

2、现有技术中,针对于固定hhg,调节和扫描结构通常只能在单一空间进行调节,无法实现观测点样品的全面积扫描。因此,需要提供一种样品的调节扫描装置和方法。


技术实现思路

1、本专利技术提供一种样品的调节扫描装置和方法。以解决现有技术中,无法全方位扫描样品的问题。

2、本专利技术提供的一种样品的调节扫描装置,包括:

3、底板;

4、第本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种样品的调节扫描装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的样品的调节扫描装置,其特征在于,所述旋转组件包括支撑架和装夹体,所述支撑架套接在所述电机上,所述支撑架和所述装夹体之间设置有相互配合的弹性体和压电促动器。

3.根据权利要求2所述的样品的调节扫描装置,其特征在于,所述电机上安装有导电环。

4.根据权利要求3所述的样品的调节扫描装置,其特征在于,所述电机为旋转电机,所述支撑架为圆环型,所述支撑架与所述旋转电机同轴设置。

5.根据权利要求4所述的样品的调节扫描装置,其特征在于,所述压电促动器的固定端安装在所述支撑架上,并与所...

【技术特征摘要】

1.一种样品的调节扫描装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的样品的调节扫描装置,其特征在于,所述旋转组件包括支撑架和装夹体,所述支撑架套接在所述电机上,所述支撑架和所述装夹体之间设置有相互配合的弹性体和压电促动器。

3.根据权利要求2所述的样品的调节扫描装置,其特征在于,所述电机上安装有导电环。

4.根据权利要求3所述的样品的调节扫描装置,其特征在于,所述电机为旋转电机,所述支撑架为圆环型,所述支撑架与所述旋转电机同轴设置。

5.根据权利要求4所述的样品的调节扫描装置,其特征在于,所述压电促动器的固定端安装在所述支撑架上,并与所述导电环电连接,所述压电促动器的伸缩端穿过所述支撑架与所述装夹体相接触,并在所述导电环的作用下,调整所述装夹体的端面与所述支撑架的轴向...

【专利技术属性】
技术研发人员:耿继宝卢杰李朝阳
申请(专利权)人:安徽创谱仪器科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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