【技术实现步骤摘要】
专利技术本专利技术提供涉及机械加工领域,尤其涉及一种复合装置。
技术介绍
1、现有的晶圆(芯片)黏合装置,包含有一机台、一基板输送单元、一晶圆输送单元、一第一横梁、一第二横梁、一龙门、一视觉单元、一压合单元、一点胶单元、一取放单元、一顶出单元与一检测单元。
2、基板输送单元设于机台。晶圆输送单元设于机台,并且相邻于基板输送单元。第一横梁与第二横梁设于机台,并位于基板输送单元的上方。龙门设于机台,并位于第一横梁与第二横梁的上方。视觉单元与压合单元设于龙门。点胶单元设于第一横梁面对第二横梁的一侧。取放单元设于第二横梁面对第一横梁的一侧。顶出单元设于晶圆输送单元的下方。检测单元设于第二横梁未面对第一横梁的一侧。基板输送单元、晶圆输送单元、视觉单元、压合单元、点胶单元、取放单元、顶出单元与检测单元为本领域的常规技术知识,故相关构件在此不过多赘述,特此声明。
3、基板输送单元将欲黏合的基板输送至点胶单元的下方,使点胶单元于基板的欲黏合处进行点胶。视觉单元以视觉检视基板,以定位基板的欲黏合处。待点胶完成后,基板输送单元将已完
...【技术保护点】
1.一种复合装置,其特征在于,包含:
2.根据权利要求1所述的复合装置,其特征在于,还包括:
3.根据权利要求1所述的复合装置,其特征在于,所述第一输送单元包括:
4.根据权利要求1所述的复合装置,其特征在于,所述多个加工单元为压合装置、焊剂装置、焊接装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置或清洁装置的至少一种。
5.根据权利要求1所述的复合装置,其特征在于,还包括:
6.根据权利要求2所述的复合装置,其特征在于,还包括:
7.根据权利要求6所述的复合装置,其特征在于,所述第一输送单元为一基板
...【技术特征摘要】
1.一种复合装置,其特征在于,包含:
2.根据权利要求1所述的复合装置,其特征在于,还包括:
3.根据权利要求1所述的复合装置,其特征在于,所述第一输送单元包括:
4.根据权利要求1所述的复合装置,其特征在于,所述多个加工单元为压合装置、焊剂装置、焊接装置、吸取装置、沾胶装置、点胶装置、检测装置或清洁装置的至少一种。
5.根据权利要求1所述的复合装置,其特征在于,还包括:
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈律名,蔡宗霖,
申请(专利权)人:库力索法高科股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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