一种纳皮秒激光并行多光束加工方法及加工系统技术方案

本发明专利技术提供了一种纳皮秒激光并行多光束加工方法及加工系统,该纳皮秒激光并行多光束加工方法包括如下步骤：打开纳皮秒激光并行多光束加工系统中的各装置；控制光束能量调整系统的空间角度，以将皮秒激光垂直聚焦到两个工件；控制光束能量调整系统的空间角度，以将纳秒激光垂直聚焦到两个工件；控制皮秒激光器和纳秒激光器同时启动，以观察示波器上显示的皮秒‑纳秒激光脉冲序列与设定是否相同；判断示波器上显示皮秒激光脉冲和纳秒激光脉冲的脉冲序列与预设脉冲序列是否相同，并根据判断结果，选择是否移动两个工作台；本发明专利技术通过调控多光束动态调制器对皮秒激光和纳秒激光的脉冲能量比例和延迟时间调制，最终实现不同材料的高质高精的加工。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及激光加工，具体而言，涉及一种纳皮秒激光并行多光束加工方法及加工系统。

技术介绍

1、现阶段，激光加工技术已经广泛应用于航空航天、半导体、微电子、仪器仪表等领域。

2、目前短脉冲和超短脉冲激光加工作为一种常见的加工手段，已经广泛应用在航空航天、汽车、电子等领域复杂构件的制造、维护。短脉冲激光器一般为纳秒激光器。尽管其加工效率很高，但是由于较长的脉冲持续时间，加工过程中的热效应十分显著，因此很难实现高质量的加工。皮秒激光作为一种超短脉冲激光，具有极短的脉冲持续时间和极高的峰值功率密度，可以对各种材料进行高质量的加工。但是由于其较低的单脉冲能量，很难实现高效率的加工。

技术实现思路

1、本专利技术解决的问题是如何实现对不同材料工件的高质量和高效率的激光加工作业。

2、为解决上述问题，本专利技术提供一种纳皮秒激光并行多光束加工方法，应用于纳皮秒激光并行多光束加工系统，所述纳皮秒激光并行多光束加工系统包括皮秒激光器、皮秒激光光路空间整形系统、皮秒激光偏振调整系统、纳秒激光器、纳秒激本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种纳皮秒激光并行多光束加工方法，应用于纳皮秒激光并行多光束加工系统，其特征在于：所述纳皮秒激光并行多光束加工系统包括皮秒激光器(2)、皮秒激光光路空间整形系统(5)、皮秒激光偏振调整系统(6)、纳秒激光器(4)、纳秒激光光路整形系统(8)、纳秒激光偏振调整系统(9)、两个光学快门、两个聚焦观测系统、光束能量调整系统、多光束动态调制器(1)、高速光电探测器(15)、示波器(16)和两个工作台，所述纳皮秒激光并行多光束加工方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，...

【技术特征摘要】

1.一种纳皮秒激光并行多光束加工方法，应用于纳皮秒激光并行多光束加工系统，其特征在于：所述纳皮秒激光并行多光束加工系统包括皮秒激光器(2)、皮秒激光光路空间整形系统(5)、皮秒激光偏振调整系统(6)、纳秒激光器(4)、纳秒激光光路整形系统(8)、纳秒激光偏振调整系统(9)、两个光学快门、两个聚焦观测系统、光束能量调整系统、多光束动态调制器(1)、高速光电探测器(15)、示波器(16)和两个工作台，所述纳皮秒激光并行多光束加工方法包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于：

3.根据权利要求1所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于：

4.根据权利要求3所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于：

5.根据权利要求1所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于：所述控制光束能量调整系统的空间角度，以将纳秒激光垂直聚焦到两个工件的表面包括：

6.根据权利要求5所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于：所述控制光束能量调整系统的空间角度，以将纳秒激光垂直聚焦到两个工件的表面还包括：

7.根据权利要求5所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于：所述控制皮秒激光器(2)和纳秒激光器(4)同时启动，以观察示波器(16)上显示的皮秒-纳秒激光脉冲序列与设定是否相同包括；

8.根据权利要求1所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于：

9.一种纳皮秒激光并行多光束加工系统，采用如权利要求1至8任一项所述的纳皮秒激光并行多光束加工方法，其特征在于，包括多光束动态调制器(1)、皮秒激光器(2)、皮秒激光偏振调...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨立军，李靖怡，周赫，丁烨，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学深圳哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院，
类型：发明
国别省市：