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本发明提供了一种纳皮秒激光并行多光束加工方法及加工系统,该纳皮秒激光并行多光束加工方法包括如下步骤：打开纳皮秒激光并行多光束加工系统中的各装置；控制光束能量调整系统的空间角度，以将皮秒激光垂直聚焦到两个工件；控制光束能量调整系统的空间角度，...该专利属于哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学（深圳）（哈尔滨工业大学深圳科技创新研究院）授权不得商用。