编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置制造方法及图纸

提供一种编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置。编码器装置具备：位置检测部，其检测移动部的位置信息；磁铁，其沿所述移动部的移动方向具有多个极性；电信号产生部，其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将所述磁铁的磁感线向所述磁性感应部引导的第1磁性体，所述电信号产生部基于所述磁性感应部的磁特性而产生电信号；和第2磁性体，其配置于所述磁铁与所述磁性感应部之间，用于将所述磁铁的一个极性部分的磁感线向所述磁铁的其他极性部分引导。能够减少磁铁因不必要的磁场而产生的噪音，从而产生稳定的电信号，能够实现检测结果的可靠性的提高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及编码器装置、编码器装置的制造方法、驱动装置、工作台装置、及机械手装置。

技术介绍

1、检测被检测物的旋转角或旋转速度等位置信息的编码器装置搭载于机械手装置等各种装置上。作为以往的编码器装置，已知有如下装置：其使用韦根金属丝那样的磁性线材，将旋转的磁铁的磁场变化转换为电信号，并使用该电信号来求出旋转速度(例如，参照专利文献1)。

2、上述那样的使用磁性线材的编码器装置中，期望减少因磁铁的不必要的磁场而产生的噪音，产生稳定的电信号，从而实现检测结果的可靠性的提高。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开平8-136558号公报

技术实现思路

1、根据第1方式，提供一种编码器装置，该编码器装置具备：位置检测部，其检测移动部的位置信息；磁铁，沿该移动部的移动方向具有多个极性；电信号产生部，其具有根据伴随该移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、和用于将该磁铁的磁感线向该磁性感应部引导的第1磁性体，所述电信号产生部基于该磁本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种编码器装置，具备：

2.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

4.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

5.如权利要求4所述的编码器装置，其特征在于，

6.如权利要求4所述的编码器装置，其特征在于，

7.如权利要求4所述的编码器装置，其特征在于，

8.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

9.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

10.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，>

11.如权利...

【技术特征摘要】

1.一种编码器装置，具备：

2.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

3.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

4.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

5.如权利要求4所述的编码器装置，其特征在于，

6.如权利要求4所述的编码器装置，其特征在于，

7.如权利要求4所述的编码器装置，其特征在于，

8.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

9.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

10.如权利要求1所述的编码器装置，其特征在于，

11...

【专利技术属性】
技术研发人员：三桥雄一，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：