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编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置制造方法及图纸
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下载编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置的技术资料
文档序号:40594842
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提供一种编码器装置、驱动装置、工作台装置及机械手装置。编码器装置具备:位置检测部,其检测移动部的位置信息;磁铁,其沿所述移动部的移动方向具有多个极性;电信号产生部,其具有根据伴随所述移动部的移动所产生的磁场变化而磁特性发生变化的磁性感应部、...
该专利属于株式会社尼康所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社尼康授权不得商用。
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