【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路温控设备液体传输管路保温，尤其涉及一种传输管路的保护组件和传输管路系统。
技术介绍
1、随着科技的发展，传输管路在各种行业的适用范围广泛，以集成电路制造行业为例，随着集成电路制程的发展，刻蚀等工艺的温度范围在-120～200℃之间，集成电路温控设备需要通过传输管路对主工艺设备进行控温。传输管路的保温结构采用橡塑保温棉或航空保温材料等。传输管路在运输、铺设以及安装的过程中，传输管路的保温结构受到挤压的情况难以避免，保温结构挤压变形降低了保温效果，这样的传输管路在低温下容易产生冷凝水，在高温下容易造成保温材料碳化，产生颗粒污染等问题。并且传输管路通常沿着楼层的高度设置，维护传输管路涉及高空作业，维修更换均不方便。如果直接在传输管路上增加保温结构的厚度成本高。
技术实现思路
1、本专利技术旨在至少解决相关技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种传输管路的保护组件，用以解决现有技术中保温结构容易受到挤压的缺陷。
2、本专利技术还提出一种传输管路系统。p>
3、根据本本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种传输管路(300)的保护组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传输管路(300)的保护组件，其特征在于，还包括气泵(20)，所述气泵(20)适于为所述充气腔(11)提供气体，以使所述充气隔膜(10)在充气状态和收缩状态两种状态之间切换。
3.根据权利要求2所述的传输管路(300)的保护组件，其特征在于，在所述充气状态，所述气泵(20)使得所述充气腔(11)的气体持续流动。
4.根据权利要求2所述的传输管路(300)的保护组件，其特征在于，所述气泵(20)中的气体可以是干燥空气、氮气中的至少其中一种。
...
【技术特征摘要】
1.一种传输管路(300)的保护组件，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的传输管路(300)的保护组件，其特征在于，还包括气泵(20)，所述气泵(20)适于为所述充气腔(11)提供气体，以使所述充气隔膜(10)在充气状态和收缩状态两种状态之间切换。
3.根据权利要求2所述的传输管路(300)的保护组件，其特征在于，在所述充气状态，所述气泵(20)使得所述充气腔(11)的气体持续流动。
4.根据权利要求2所述的传输管路(300)的保护组件，其特征在于，所述气泵(20)中的气体可以是干燥空气、氮气中的至少其中一种。
5.根据权利要求1至4中任意一项所述的传输管路(300)的保护组件，其特征在于，还包括安装环(30)，所述安装环(30)连接所述充气隔膜(10)，所述安装环(30)设置有充气口(31)，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：芮守祯，曹小康，贾正帅，何茂栋，董春辉，刘紫阳，胡文达，靳李富，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。