【技术实现步骤摘要】
在本文中描述的本公开的实施方式涉及台单元、包括台单元的沉积设备和显示面板制造方法，并且更具体地，涉及用于竖直沉积的台单元、包括台单元的沉积设备和显示面板制造方法。
技术介绍
1、诸如电视、移动电话、平板计算机、汽车导航单元、游戏机和类似物的显示装置可包括用于显示图像的显示面板。显示面板可包括多个像素。像素中的每个可包括诸如晶体管的驱动元件和诸如有机发光二极管的显示元件。显示元件可通过在衬底上沉积电极和发光图案来形成。
2、发光图案可通过使用具有限定在其中的沉积开口的掩模形成在预定区上。近来，为了改善显示面板的生产良率，已经开发了使用大面积掩模的沉积工艺技术。然而，在其中掩模未对齐在沉积设备中的设计位置处的情况下，其中形成发光图案的位置的精度可劣化。
技术实现思路
1、本公开的实施方式提供用于向对象提供平坦的支承表面的台单元以及包括台单元的沉积设备。
2、另外，本公开的实施方式提供具有改善的沉积精度的显示面板制造方法。
3、根据实施方式，台单元包括：提供安置表面并且具有穿过安置表面而形成的开口的台、布置在开口下方并且联接到台的第一支承单元、布置在开口下方并且联接到台的第二支承单元以及由第一支承单元支承的平坦度测量单元，在平面上第二支承单元与第一支承单元间隔开。第一支承单元和第二支承单元中的每个提供与安置表面交叉的支承表面，并且第一支承单元的支承表面和第二支承单元的支承表面在朝向和远离开口的方向上是可移动的。
4、在实施方式中，安置表面可
5、在实施方式中，第一支承单元的支承表面和第二支承单元的支承表面在与重力的方向实质上平行的方向上是可移动的。
6、第一支承单元的实施方式可包括提供支承表面之中的第一支承表面的第一支承杆、提供支承表面之中的第二支承表面并且在第一方向上与第一支承杆间隔开的第二支承杆以及连接第一支承杆和第二支承杆的连杆，其中，平坦度测量单元可与连杆接触。
7、台单元的实施方式还可包括穿过第一支承杆和连杆的一侧进行连接的第一铰接件以及穿过第二支承杆和连杆的相对侧进行连接的第二铰接件。在实施方式中，当第一支承单元的支承表面和第二支承单元的支承表面移动时，第一铰接件的位置可被固定，并且第二铰接件的位置可被改变。
8、在实施方式中，第一支承表面和第二支承表面可限定相同的平面或不同的平面。
9、在实施方式中，第二支承单元可包括布置在第一支承杆与第二支承杆之间的多个块，其中，块中的每个可包括限定支承表面的第三支承表面。
10、在实施方式中，多个块可在与第一方向交叉的第二方向上是独立地可移动的，并且多个第三支承表面可限定相同的平面或不同的平面。
11、在实施方式中，台单元还可包括控制第三支承表面以及第一支承表面和第二支承表面的平坦度的附加平坦度测量单元。
12、在实施方式中，台单元还可包括与第一支承单元和第二支承单元连接的无线通信模块。
13、根据实施方式，沉积设备可包括提供内部空间的室、容纳在内部空间中并且提供沉积材料的沉积构件、提供与由第一方向和第二方向限定的平面平行的安置表面并且具有穿过安置表面的一部分而形成的开口的台、在安置表面上布置成与开口重叠并且具有在其中限定的多个开口的掩模单元、布置在台的开口下方并且联接到台的下支承单元以及包括面对安置表面的前表面的衬底，下支承单元支承掩模单元，衬底隔着掩模单元和台在与第一方向和第二方向交叉的第三方向上与沉积构件间隔开。下支承单元可包括提供与掩模单元的在第一方向上延伸的一个侧表面接触的支承表面的支承单元以及布置在支承单元上的平坦度测量单元，其中，支承表面与平坦度测量单元连接并且在第二方向上是可移动的。
14、在实施方式中，内部空间可处于真空状态。
15、在实施方式中，掩模单元可包括具有与台的开口重叠的开口的掩模框架以及多个掩模，多个掩模中的每个具有在其中限定的多个开口，多个掩模布置成与掩模框架的开口重叠。
16、沉积设备的实施方式还可包括连接到下支承单元的通信模块，其中，通信模块可以能够与室的外部通信。
17、在实施方式中，支承表面可包括支承掩模单元的一个侧表面的一端的第一支承表面、支承掩模单元的一个侧表面的相对端的第二支承表面以及布置在第一支承表面与第二支承表面之间并且在第一方向上布置成彼此间隔开的多个第三支承表面，其中，第一支承表面、第二支承表面和第三支承表面可被独立地控制。
18、在实施方式中，平坦度测量单元可测量第一支承表面与第二支承表面之间的平坦度。
19、根据实施方式，用于制造显示面板的方法可包括：提供包括提供安置表面的台和提供支承表面的下支承单元的台单元；设置支承表面在其处被平坦化的基准位置；在安置表面上提供对象；以及将下支承单元对齐成使得对对象进行支承的支承表面对应于基准位置。支承表面与安置表面交叉，并且平坦度测量单元可用于设置基准位置。
20、在实施方式中，支承表面可与重力的方向交叉。
21、在实施方式中，支承表面可包括多个支承表面，其中，当将下支承单元对齐时，多个支承表面的位置可在重力的方向上是独立地可移动的。
22、在实施方式中，可在大气压状态下执行基准位置的设置。
23、在实施方式中，可在真空状态下执行下支承单元的对齐。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种台单元，包括：
2.如权利要求1所述的台单元，其中，所述安置表面位于与重力的方向平行的方向上。
3.如权利要求1所述的台单元，其中，所述第一支承单元的所述支承表面和所述第二支承单元的所述支承表面的移动方向位于与重力的方向平行的方向上。
4.如权利要求1所述的台单元，其中，所述第一支承单元包括：
5.如权利要求4所述的台单元，还包括：
6.如权利要求4所述的台单元，其中，所述第一支承表面和所述第二支承表面限定相同的平面或不同的平面。
7.如权利要求4所述的台单元，其中，所述第二支承单元包括布置在所述第一支承杆与所述第二支承杆之间的多个块，以及
8.如权利要求7所述的台单元，其中，所述多个块在与所述第一方向交叉的第二方向上是独立地可移动的，以及
9.如权利要求7所述的台单元，还包括：
10.如权利要求1所述的台单元，还包括：
11.一种沉积设备，包括：
12.如权利要求11所述的沉积设备，其中，所述内部空间处于真空状态。
13.如权利
14.如权利要求11所述的沉积设备，还包括：
15.如权利要求11所述的沉积设备，其中，所述支承表面包括：
16.如权利要求15所述的沉积设备，其中，所述平坦度测量单元测量所述第一支承表面与所述第二支承表面之间的平坦度。
17.一种显示面板制造方法，包括：
18.如权利要求17所述的显示面板制造方法，其中，所述支承表面与重力的方向交叉。
19.如权利要求17所述的显示面板制造方法，其中，所述支承表面包括多个支承表面，以及
20.如权利要求17所述的显示面板制造方法，其中，
...【技术特征摘要】
1.一种台单元，包括：
2.如权利要求1所述的台单元，其中，所述安置表面位于与重力的方向平行的方向上。
3.如权利要求1所述的台单元，其中，所述第一支承单元的所述支承表面和所述第二支承单元的所述支承表面的移动方向位于与重力的方向平行的方向上。
4.如权利要求1所述的台单元，其中，所述第一支承单元包括：
5.如权利要求4所述的台单元，还包括：
6.如权利要求4所述的台单元，其中，所述第一支承表面和所述第二支承表面限定相同的平面或不同的平面。
7.如权利要求4所述的台单元，其中，所述第二支承单元包括布置在所述第一支承杆与所述第二支承杆之间的多个块，以及
8.如权利要求7所述的台单元，其中，所述多个块在与所述第一方向交叉的第二方向上是独立地可移动的，以及
9.如权利要求7所述的台单元，还包括：
<...【专利技术属性】
技术研发人员：洪京浩，朴成晧，李政燮，高晙赫，金义圭，李尚玟，韩尚辰，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。