System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种控制贴装压力的贴装头及含有其的贴片机制造技术_技高网

一种控制贴装压力的贴装头及含有其的贴片机制造技术

技术编号:40585988 阅读:3 留言:0更新日期:2024-03-12 21:45
本发明专利技术涉及半导体技术领域,公开了一种控制贴装压力的贴装头及含有其的贴片机。关于贴装头,吸头布置在载板的第一侧,并用于通过吸盘真空吸附芯片;调节板固定在载板和吸头之间,并用于调节吸头的位置;其中,吸头滑动连接有滑块,滑块的两侧均设有弹簧;载板上设置有高度调整组件,其中,调整螺栓螺纹连接在载板上;调整弹簧套设在调整螺栓外,第一端抵接调整螺栓的螺栓头,第二端抵接载板的第二侧板面;同时,吸头在滑块、弹簧、高度调整组件配合下呈悬浮状态。本申请的技术方案,提高了贴装头对压力的精准控制能力,实现了芯片高精度的贴装。Z轴旋转轴可以采用直连的方式,最终带动吸盘旋转来调整吸附的芯片在θ方向上的偏差。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体,具体涉及一种控制贴装压力的贴装头及含有其的贴片机,属于半导体行业封测工艺段贴装芯片技术。


技术介绍

1、现有的贴装头无法真正做到趋近于0g的压力,易压碎产品。经分析,贴装头力控精度不高,易压碎产品;同时,贴装头质量大、结构不紧凑,影响贴装速度。


技术实现思路

1、本申请提供一种控制贴装压力的贴装头及含有其的贴片机,以解决现有技术贴装头力控精度不高的上述技术问题。

2、根据本申请的一方面,一种实施例提供了一种控制贴装压力的贴装头,包括:

3、载板;

4、吸头,布置在所述载板的第一侧,并用于通过吸盘真空吸附芯片;和

5、调节板,固定在所述载板和所述吸头之间,并用于调节所述吸头的位置;

6、其中,所述吸头滑动连接有滑块,所述滑块的两侧均设有弹簧;所述载板上设置有至少一件高度调整组件,且每件所述高度调整组件均包括:

7、调整螺栓,螺纹连接在所述载板上;和

8、调整弹簧,套设在所述调整螺栓外,第一端抵接所述调整螺栓的螺栓头,第二端抵接所述载板的第二侧板面;

9、同时,所述吸头在滑块、弹簧、高度调整组件配合下呈悬浮状态。

10、一种实施例中,所述吸头固定有光栅尺读数头;所述光栅尺读数头用于读出弹簧的压缩量,以此计算出贴装芯片时的压力。

11、一种实施例中,所述高度调整组件设有三件,且三件所述高度调整组件在载板的第二侧板面上形成三角形的排布。

12、一种实施例中,所述吸头包括:

13、外部壳体,固定在所述调节板的第一侧;和

14、吸盘连接轴,转动设置在所述外部壳体内;所述吸盘连接轴的第一端连接滚珠花键导杆,并配合有滚珠花键,且所述滚珠花键导杆传动连接动力输出轴;所述吸盘连接轴的第二端连接所述吸盘;

15、其中,所述动力输出轴驱动吸盘连接轴及吸盘旋转,控制所述吸盘吸附的芯片在θ方向的角度。

16、一种实施例中,所述吸盘连接轴的第一端与所述滚珠花键导杆的端部可拆卸连接。

17、一种实施例中,所述吸盘连接轴与所述外部壳体之间采用机械式迷宫密封。

18、一种实施例中,所述机械式迷宫密封包括:

19、齿块,成形在所述吸盘连接轴与所述外部壳体之间;所述齿块设有多件,并沿吸盘连接轴的长度方向布置;相邻两件所述齿块之间具有齿隙;和

20、气体腔,位于两件所述齿块之间;

21、其中,所述气体腔与吸盘的通气腔连通。

22、一种实施例中,所述外部壳体设置真空气路气管接头;所述真空气路气管接头通过真空发生器驱动吸盘工作。

23、一种实施例中,所述控制贴装压力的贴装头包括固定在载板第二侧的无齿槽电机;所述无齿槽电机具有所述动力输出轴。

24、根据本申请的一方面,一种实施例提供了一种贴片机,包括:

25、贴片机本体;和

26、如上任意一项所述的控制贴装压力的贴装头;

27、其中,所述控制贴装压力的贴装头作为取料、贴装的执行机构。

28、本申请上述实施例的技术方案,弹簧的应用提高了贴装头对压力的精准控制能力,实现了芯片高精度的贴装。本申请的控制贴装压力的贴装头、贴片机,节省空间,使用方便,高精度贴装芯片。

29、进一步的,通过上下双弹簧的调节可以将吸头完全悬浮,并通过光栅尺读数头精准记录吸头的位置,并转化为此刻吸头作用在芯片上的压力,甚至可以做到0g压力,确保不会压碎芯片。

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【技术保护点】

1.一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述吸头固定有光栅尺读数头;所述光栅尺读数头用于读出弹簧的压缩量,以此计算出贴装芯片时的压力。

3.根据权利要求1所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述高度调整组件设有三件,且三件所述高度调整组件在载板的第二侧板面上形成三角形的排布。

4.根据权利要求1所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述吸头包括:

5.根据权利要求4所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述吸盘连接轴的第一端与所述滚珠花键导杆的端部可拆卸连接。

6.根据权利要求4所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述吸盘连接轴与所述外部壳体之间采用机械式迷宫密封。

7.根据权利要求6所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述机械式迷宫密封包括:

8.根据权利要求4所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述外部壳体设置真空气路气管接头;所述真空气路气管接头通过真空发生器驱动吸盘工作。p>

9.根据权利要求4-8中任意一项所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述控制贴装压力的贴装头包括固定在载板第二侧的无齿槽电机;所述无齿槽电机具有所述动力输出轴。

10.一种贴片机,其特征在于,包括:

...

【技术特征摘要】

1.一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述吸头固定有光栅尺读数头;所述光栅尺读数头用于读出弹簧的压缩量,以此计算出贴装芯片时的压力。

3.根据权利要求1所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述高度调整组件设有三件,且三件所述高度调整组件在载板的第二侧板面上形成三角形的排布。

4.根据权利要求1所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述吸头包括:

5.根据权利要求4所述的一种控制贴装压力的贴装头,其特征在于,所述吸盘连接轴的第一端与所述滚珠花键导杆的端部可拆卸连接。

...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈玉林姚玉鹏许成龙
申请(专利权)人:上海轩田工业设备有限公司
类型:发明
国别省市:

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