【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于减排(abatement)设备的引燃(pilot)装置和方法。
技术介绍
1、减排设备(例如辐射燃烧器)众所周知，减排设备通常用于处理来自半导体或平板显示器制造业等制造加工工具的废气流。在这种制造中，从加工工具中抽出的废气流中会存在残留的全氟化合物(pfc)和其他化合物。pfc很难从废气中去除，而将其排放到环境中也是不可取的，因为众所周知，pfc具有相对较高的温室活性。
2、已知的辐射燃烧器利用燃烧去除废气流中的pfc和其他化合物，如ep 0 694 735中所述。通常情况下，流出气流是含有pfc和其他化合物的氮气流。废气流被输送到燃烧室，该燃烧室横向环绕着穿孔气体燃烧器的出口表面。在某些情况下，处理材料(如燃料气体)可在进入燃烧室之前与废气流混合。燃料气体和空气同时供应给穿孔燃烧器，以影响出口表面的燃烧。穿孔燃烧器的燃烧产物与废气流混合物发生反应，燃烧废气流中的化合物。
3、尽管存在点燃减排设备的技术，但这些技术都有各自的缺点。因此，我们希望提供一种用于点燃减排设备的改进技术。
技术实现思路
1、根据第一方面，提供了一种用于减排设备的引燃装置，该减排设备配置为减排来自半导体加工工具的废气流，该引燃装置包括：壳体，该壳体固定有穿孔引燃表面，该壳体和穿孔引燃表面限定腔室，该腔室配置为将燃料和氧化剂从相应的壳体入口输送通过该穿孔引燃表面；以及点火器，该点火器配置为在燃料和氧化剂从穿孔引燃表面流出时点燃它们。
2、第一方面认识到，
3、穿孔引燃表面可位于壳体的外部表面。
4、穿孔引燃表面可位于壳体的外表面或朝外表面。
5、穿孔引燃表面的形状或配置可以适合或靠近或邻近减排设备的燃烧器。这样就能让穿孔引燃表面提供的点火火焰点燃燃烧器中的燃烧物。
6、穿孔引燃表面的形状或配置可以适合或靠近或邻近减排设备的多个燃烧器中的至少一个。因此，单个引燃装置可用于点燃一个以上的燃烧器，而不需要为每个燃烧器配备单独的引燃装置。此外，将引燃表面设置在燃烧器外部还可减少对燃烧器内部条件的干扰。
7、穿孔引燃表面的形状或配置可以与减排设备的多个燃烧器中的一个或多个相邻。这有助于将点火火焰从引燃装置扩散到这些燃烧器。
8、穿孔引燃表面可成形为或配置为与减排设备的多个燃烧器中的至少一个燃烧器的燃烧表面相接。
9、穿孔引燃表面可成形为减排设备的多个燃烧器中的至少一个燃烧器的燃烧表面提供延续。
10、穿孔引燃表面可成形为沿着减排设备的多个燃烧器中的至少一个燃烧器的边缘延伸。
11、穿孔引燃表面可成形为沿着减排设备的多个燃烧器中的至少一个燃烧器的至少一部分周边延伸。
12、引燃装置可配置为定位穿孔引燃表面，以点燃从减排设备的多个燃烧器中的至少一个燃烧器流出的燃料和氧化剂。
13、引燃装置可配置为将穿孔引燃表面朝向或靠近减排设备多个燃烧器中的至少一个燃烧器的排气口。
14、穿孔引燃表面可以是平面的。
15、穿孔引燃表面可以是细长的。
16、穿孔引燃表面可限定至少一个孔。孔可以容纳或固定点火器、视孔和/或传感器，例如紫外线、红外线和/或温度传感器。
17、穿孔引燃表面可包括多个相邻的穿孔引燃表面。这使得穿孔引燃表面的形状能够满足有效点火的要求。
18、多个相邻的穿孔引燃表面中的一个可限定至少一个孔。
19、壳体可包括主壳体和可拆卸固定的副壳体。穿孔引燃表面可由副壳体固定。这样就可以拆卸副壳体，以便在不影响主壳体的情况下维修或更换穿孔引燃表面。
20、主壳体可由与形成副壳体的材料相比具有更有较低使用温度(并且因此具有较低熔点)和/或较低抗氧化性(并且因此具有较低抗化学性)的材料形成。这使得较大的主壳体能够由比副壳体更广泛的材料制成。
21、主壳体可限定主腔室，副壳体可限定副腔室。副腔室可与主腔室进行流体连通(允许燃料和氧化剂从主腔室流入副腔室)，以便为穿孔引燃表面供气。
22、点火器可包括喷嘴(如管状喷嘴)，其配置可产生引燃火焰，从而点燃流出穿孔引燃表面的燃料和氧化剂。这样，即使在无法观察引燃面的情况下，也能观察到引燃火焰。此外，点火器可固定在喷嘴内，以提供保护。
23、喷嘴可固定在引燃装置内。这有助于保护喷嘴。
24、喷嘴可包括喷嘴导管，喷嘴导管可延伸穿过腔室。这使得提供给点火器的燃料和氧化剂与提供给穿孔引燃表面的燃料和氧化剂不同。
25、引燃装置可包括燃料和氧化剂歧管，该歧管有多个入口。每个入口可配置为接收燃料和/或氧化剂，并可配置为以不同的化学计量比将燃料和氧化剂输送到喷嘴和腔室。
26、歧管可配置为向喷嘴输送燃料和氧化剂，其燃料与氧化剂的比例与输送到腔室的燃料与氧化剂的比例相比更大。
27、燃料和氧化剂歧管可包括一个或多个混合器，其配置为改变或调整至喷嘴和/或腔室的燃料和氧化剂的混合。
28、壳体可包括多个竖柱，这些竖柱至少延伸到穿孔引燃表面。这些竖柱有助于在组装减排设备时保护穿孔引燃表面。
29、根据第二方面，提供了包含第一方面的引燃装置的减排设备。
30、减排设备可包括上述引燃装置的特征。
31、根据第三方面，提供了一种方法，其中包括：在壳体中保留穿孔引燃表面，以限定腔室；将燃料和氧化剂从相应的壳体入口输送通过腔室到穿孔引燃表面；以及在燃料和氧化剂离开穿孔引燃表面时点燃它们。
32、该方法可包括在壳体的外部表面定位穿孔引燃表面。
33、该方法可包括在壳体的外表面定位穿孔引燃表面。
34、该方法可包括塑造穿孔引燃表面，使其适于接近减排设备的燃烧器。
35、该方法可包括塑造穿孔引燃表面，使其适于接近减排设备的多个燃烧器中的至少一个燃烧器。
36、该方法可包括塑造穿孔引燃表面，使其与减排设备的多个燃烧器中的至少一个相接。...
【技术保护点】
1.一种用于配置成减排来自半导体加工工具的废气流的减排设备的引燃装置，所述引燃装置包括：
2.根据权利要求1所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面位于所述壳体的外部表面和外表面之一。
3.根据权利要求1或2所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面成形为适于接近所述减排设备的燃烧器。
4.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面成形为适于接近所述减排设备的多个燃烧器中的至少一个燃烧器。
5.根据权利要求4所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面符合以下至少一项：
6.根据权利要求4或5所述的引燃装置，其中所述引燃装置为以下至少一项：
7.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面是平面的和细长的中的至少一种。
8.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面限定至少一个孔，从而容纳所述点火器、视孔和传感器中的至少一个。
9.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面包括多个相邻的穿孔引燃表面。
10.根据权利要求9
11.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述壳体包括主壳体和可拆卸地固定的副壳体，所述穿孔引燃表面由所述副壳体固定。
12.根据权利要求11所述的引燃装置，其中所述主壳体由比形成所述副壳体的材料具有更低的使用温度和更低的抗氧化性中的至少一项的材料形成。
13.根据权利要求11或12所述的引燃装置，其中所述主壳体限定主腔室，所述副壳体限定副腔室，所述副腔室与所述主腔室流体联通。
14.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述点火器包括喷嘴，所述喷嘴配置成产生引燃火焰，以点燃从所述穿孔引燃表面流出的所述燃料和氧化剂。
15.根据权利要求14所述的引燃装置，其中所述喷嘴固定在所述引燃装置内。
16.根据权利要求14或15所述的引燃装置，其中所述喷嘴包括延伸穿过所述腔室的喷嘴导管。
17.根据权利要求14至16中任一项所述的引燃装置，其包括具有多个入口的燃料和氧化剂歧管，每个入口配置为接收所述燃料和氧化剂中的至少一种，并配置为以不同的化学计量比将所述燃料和氧化剂输送到所述喷嘴和所述腔室。
18.根据权利要求17所述的引燃装置，其中所述歧管向所述喷嘴输送所述燃料和氧化剂时，燃料与氧化剂的比例高于输送到所述腔室的燃料与氧化剂的比例。
19.根据权利要求17或18所述的引燃装置，其中所述歧管包括至少一个流量混合器，所述流量混合器配置为改变至所述喷嘴和所述腔室中至少一个的所述燃料和氧化剂的混合。
20.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述壳体包括多个竖柱，所述竖柱配置为至少延伸至所述穿孔引燃表面。
21.一种减排设备，其包括前述权利要求中任一项所述的引燃装置。
22.一种方法，其包括：
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于配置成减排来自半导体加工工具的废气流的减排设备的引燃装置，所述引燃装置包括：
2.根据权利要求1所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面位于所述壳体的外部表面和外表面之一。
3.根据权利要求1或2所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面成形为适于接近所述减排设备的燃烧器。
4.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面成形为适于接近所述减排设备的多个燃烧器中的至少一个燃烧器。
5.根据权利要求4所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面符合以下至少一项：
6.根据权利要求4或5所述的引燃装置，其中所述引燃装置为以下至少一项：
7.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面是平面的和细长的中的至少一种。
8.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面限定至少一个孔，从而容纳所述点火器、视孔和传感器中的至少一个。
9.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述穿孔引燃表面包括多个相邻的穿孔引燃表面。
10.根据权利要求9所述的引燃装置，其中所述多个相邻的穿孔引燃表面之一限定所述至少一个孔。
11.根据前述权利要求中任一项所述的引燃装置，其中所述壳体包括主壳体和可拆卸地固定的副壳体，所述穿孔引燃表面由所述副壳体固定。
12.根据权利要求11所述的引燃装置，其中所述主壳体由比形成所述副壳体的材料具有更低的使用温度和更...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·斯利，D·巴茨，M·西尔伯斯坦，
申请(专利权)人：阿尔泽塔公司，
类型：发明
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