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公开了一种用于减排设备的引燃装置和方法。该引燃装置用于减排设备，该减排设备配置为减排来自半导体加工工具的废气流，该引燃装置包括：壳体，该壳体固定有穿孔引燃表面，该壳体和穿孔引燃表面限定腔室，该腔室配置为将燃料和氧化剂从相应的壳体入口输送通过...
该专利属于阿尔泽塔公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿尔泽塔公司授权不得商用。

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