【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光学检测领域，具体是涉及一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法。
技术介绍
1、本专利技术涉及光学玻璃检测技术，具体为利用应力仪对光学玻璃的应力进行检测，要求应力检测方便,检测精度0.1nm。
2、由于光学玻璃应力的产生原因非常复杂，同时又有很大的随机性，很难从理论上计算其大小与方向，只能用设备来进行测定。应力测定的目的反馈给生产工序，为其制定更合理的处理工艺提供依据。因此应力测定不仅是检验的工作，更重要的应该是工艺控制的一环，应力测定应与生产工艺紧密结合起来。所以应力变化情况的实时测量变得尤为重要，而对各种材料应力测定的研究是很有价值的。
3、光学玻璃的应力一般使用应力仪进行测试，但在实际操作过程中发现，当光学玻璃表面为非抛光表面时，需要对光学零件的表面进行抛光处理，以去除零件表面状态对材料应力测试结果的影响，这样就大大减低了生产的效率。如何在零件表面为非抛光状态下不进行抛光处理，准确测得零件的表面应力，成为一个问题。经查看相关论文资料，光学玻璃测应力要求零件表面状态为抛光状态，部分论文直接称非抛光表面的光学玻璃不能测应力。
技术实现思路
1、(一)要解决的技术问题
2、本专利技术主要针对以上问题，提出了一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其目的是解决在使用应力仪测量表面未抛光光学玻璃应力时测量不准确的问题。
3、(二)技术方案
4、为实现上述目的，本专利技术提供了一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测
5、a)使用纳米级超声波清洗设备将待测零件进行清洗；
6、b)选择与待测零件折射率一致且无色的透明硅油；
7、c)在待测零件的上下表面上采用涂覆器均匀涂覆所述硅油；
8、d)利用红外加热设备在硅油固化前对硅油进行局部加热；
9、e)将涂有硅油的上下表面垂直于应力仪的光束方向放入恒温恒湿的测量腔室内；
10、f)使用激光干涉仪或相干衍射仪应力仪测量待测零件的应力。
11、进一步地，测量腔室内的条件包括提供稳定的环境温度和湿度，以及控制腔室内的颗粒污染等级。
12、进一步地，所述硅油是经过纳米级过滤处理的苯基甲基硅油。
13、进一步地，对选取的苯基甲基硅油进行预处理：将选定的硅油在无尘室内加热40℃并用超声波处理15分钟以消除任何可能存在的微小颗粒或气泡。
14、进一步地，在清洗后，进行等离子体活化处理，具体方法包括：在待测零件表面形成纳米级微细结构。
15、进一步地，所述微细结构的形成具体包括以下步骤：
16、使用涂覆器均匀涂覆光刻胶到待测零件表面；
17、使用激光直写系统将特定图案或结构投射到光刻胶上；
18、经过曝光和显影处理，形成所需的纳米级微细结构；
19、使用高频超声波清洗设备去除未固化的光刻胶，留下所需的微细结构。
20、进一步地，所述超声波处理的频率范围在20khz至40khz之间。
21、进一步地，所述步骤d)的局部加热的温度范围在60-90℃之间。
22、(三)有益效果
23、与现有技术相比，本专利技术提供的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，通过选用要求规格的硅油并涂覆于待测零件的上下表面，解决了使用应力仪测量非抛光玻璃零件表面的应力不准确的难题；实现了无需抛光就可以直接准确测量表面非抛光的光学玻璃应力值，提高了光学检测的效率。满足了应力测量误差≤0.1nm的要求。
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1.一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，测量腔室内的条件包括提供稳定的环境温度和湿度，以及控制腔室内的颗粒污染等级。
3.如权利要求1所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，所述硅油是经过纳米级过滤处理的苯基甲基硅油。
4.如权利要求3所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，对选取的苯基甲基硅油进行预处理：将选定的硅油在无尘室内加热40℃并用超声波处理15分钟以消除任何可能存在的微小颗粒或气泡。
5.如权利要求4所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，在清洗后，进行等离子体活化处理，具体方法包括：在待测零件表面形成纳米级微细结构。
6.如权利要求5所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，所述微细结构的形成具体包括以下步骤：
7.如权利要求4所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，所述超声波处理的频率范围
8.如权利要求1所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，所述步骤d)的局部加热的温度范围在60-90℃之间。
...【技术特征摘要】
1.一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，测量腔室内的条件包括提供稳定的环境温度和湿度，以及控制腔室内的颗粒污染等级。
3.如权利要求1所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，所述硅油是经过纳米级过滤处理的苯基甲基硅油。
4.如权利要求3所述的一种非抛光表面光学玻璃应力的准确测量方法，其特征在于，对选取的苯基甲基硅油进行预处理：将选定的硅油在无尘室内加热40℃并用超声波处理15分钟以消除任何可能存在的微小颗粒或气泡。...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玄洋，车驰骋，熊长新，李玲祖，
申请(专利权)人：华中光电技术研究所中国船舶集团有限公司第七一七研究所，
类型：发明
国别省市：
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