【技术实现步骤摘要】
本申请属于废气处理装置，具体而言涉及一种用于多晶硅生产中废气处理的水封罐。
技术介绍
1、多晶硅行业生产过程产生的废气中含大量氯硅烷，需要处理并达标后才能排放。现有技术中多采用传统的水洗工艺对废气进行处理，在废气处理装置中使用工业水对烟气进行淋洗，水解废气中的氯硅烷，淋洗完的废气经水封罐排入大气。
2、然而，现有水封罐的进气管道结构形式为90°弯头，如图1所示，在90°弯头处气流不畅，会影响废气处理效率；而且若淋洗完的废气中存在少量氯硅烷气体便会在水封罐内水解产生水解物，随着水解物的不断富集就容易造成进气管道堵塞，尤其在90°弯头处气流不畅更容易造成水解物堵塞，而且堵塞后难以在线清堵，也无法拆卸离线清堵，缩短了系统运行周期及设备使用寿命，延长了检修时间，浪费了人力成本。
技术实现思路
1、鉴于上述的分析，本技术实施例旨在提供一种用于多晶硅生产中废气处理的水封罐，用以解决现有技术中存在的上述问题。
2、本技术的目的是这样实现的：
3、一种用于多晶硅生产中废...
【技术保护点】
1.一种用于多晶硅生产中废气处理的水封罐，其特征在于，包括罐体(1)，所述罐体(1)的侧壁上设有倾斜向上布置的进气管道(2)；其中，所述进气管道(2)为直管道，所述进气管道(2)具有进气端口(201)和出气端口(202)，所述进气端口(201)位于所述罐体(1)的外部且位于所述出气端口(202)的上方，所述出气端口(202)位于所述罐体(1)的内部空间。
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中废气处理的水封罐，其特征在于，所述进气管道的中心线与所述罐体(1)的轴线具有夹角α，20°≤α≤50°。
3.根据权利要求2所述的用于多晶硅生产中废气处...
【技术特征摘要】
1.一种用于多晶硅生产中废气处理的水封罐，其特征在于，包括罐体(1)，所述罐体(1)的侧壁上设有倾斜向上布置的进气管道(2)；其中，所述进气管道(2)为直管道，所述进气管道(2)具有进气端口(201)和出气端口(202)，所述进气端口(201)位于所述罐体(1)的外部且位于所述出气端口(202)的上方，所述出气端口(202)位于所述罐体(1)的内部空间。
2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中废气处理的水封罐，其特征在于，所述进气管道的中心线与所述罐体(1)的轴线具有夹角α，20°≤α≤50°。
3.根据权利要求2所述的用于多晶硅生产中废气处理的水封罐，其特征在于，α＝30°。
4.根据权利要求1至3任一项所述的用于多晶硅生产中废气处理的水封罐，其特征在于，所述罐体(1)的侧壁上设置斜插套管(3)，所述斜插套管(3)由所述罐体(1)的侧壁斜向上凸出布置；
5.根据权利要求4所述的用于多晶硅生产中废气处理的水封罐，其特...
【专利技术属性】
技术研发人员：丁军博，梁强，杜秋实，陈建宇，
申请(专利权)人：清电光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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