尾气处理机构及具有其的回收装置制造方法及图纸

本申请涉及一种尾气处理机构及具有其的回收装置，其中，尾气处理机构包括：颗粒物处理组件和喷淋液循环管路，通过喷淋结构的喷淋动作降低尾气中的颗粒物含量，再将尾气通入尾气回收机构中，进行尾气回收，喷淋液进入喷淋液循环管路进行循环使用。喷淋液循环管路中先通过过滤结构进行过滤，再将喷淋液进行温度调节后，重新进入喷淋结构进行循环，喷淋液吸收一定的尾气后可将喷淋液通过采集通道进入精馏机构中进行进一步地回收处理，这样有效地处理尾气中的颗粒物和可溶于喷淋液中的成分，进行分布回收的作用。本申请有效地解决了现有技术中多晶硅生产工艺会产生大量的尾气，尾气中包含粉末状的单质硅，进入回收装置后影响回收装置功能的问题。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及多晶硅产业尾气回收的，尤其涉及一种尾气处理机构及具有其的回收装置。

技术介绍

1、多晶硅生产工艺会出现大量的尾气，尾气中包含有可回收的硅产物、单质硅、氢气等物质，具有较高的回收利用价值。目前大多数尾气处理是直接将尾气连通尾气回收系统，没有进行单独的处理，而单质硅又通常以粉末的物理形态存在，这就导致硅粉富集在管路中的某些位置，硅粉进入后续的换热器、过滤器或者贫液泵等部件，会严重影响回收装置的使用效率，严重时还会损坏其中的重要部件。

技术实现思路

1、本申请提供了一种尾气处理机构及具有其的回收装置，以解决现有技术中多晶硅生产工艺会产生大量的尾气，尾气中包含粉末状的单质硅，进入回收装置后影响回收装置功能的问题。

2、第一方面，本申请提供了一种尾气处理机构，应用于多晶硅生产工艺后的尾气处理，所述尾气处理机构包括：

3、颗粒物处理组件，所述颗粒物处理组件包括壳体、喷淋结构和供液装置，所述喷淋结构的喷淋口设置于所述壳体内，所述供液装置与所述喷淋口连通，所述壳体的底部设置有尾气入口和流体出本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种尾气处理机构，应用于多晶硅生产工艺后的尾气处理，其特征在于，所述尾气处理机构包括：

2.根据权利要求1所述的尾气处理机构，其特征在于，所述喷淋结构(12)包括多层设置的喷淋架(122)，所述喷淋架(122)上设置有多个所述喷淋口(121)。

3.根据权利要求2所述的尾气处理机构，其特征在于，所述喷淋口(121)为雾化喷嘴，所述雾化喷嘴的开口沿远离气体出口(113)至靠近所述尾气入口(111)的方向设置。

4.根据权利要求1所述的尾气处理机构，其特征在于，所述喷淋结构(12)用于喷洒液态的四氯化硅。

5.根据权利要求4所述的尾气处理机...

【技术特征摘要】

1.一种尾气处理机构，应用于多晶硅生产工艺后的尾气处理，其特征在于，所述尾气处理机构包括：

2.根据权利要求1所述的尾气处理机构，其特征在于，所述喷淋结构(12)包括多层设置的喷淋架(122)，所述喷淋架(122)上设置有多个所述喷淋口(121)。

3.根据权利要求2所述的尾气处理机构，其特征在于，所述喷淋口(121)为雾化喷嘴，所述雾化喷嘴的开口沿远离气体出口(113)至靠近所述尾气入口(111)的方向设置。

4.根据权利要求1所述的尾气处理机构，其特征在于，所述喷淋结构(12)用于喷洒液态的四氯化硅。

5.根据权利要求4所述的尾气处理机构，其特征在于，液态的所述四氯化硅经过所述喷淋结构(12)后的喷洒角度在45°至90°之间。

6.根据权利要求1所述的尾气处理机构，其特征在于，所述壳体(11)内设置有液面检测组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜秋实，陈建宇，袁国维，沈锋群，丁军博，吴刚，
申请(专利权)人：清电光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：