一种适用于PECVD设备的多射频电源输入系统技术方案

本发明专利技术涉及PECVD设备领域，公开了一种适用于PECVD设备的多射频电源输入系统，其包括射频电源、多路射频电源控制器和射频电源馈入点。射频电源设置有两个及以上。多路射频电源控制器上设置有多个连接端口，连接端口分别与各个射频电源一一连接，用于独立控制各个射频电源启停以及调节各射频电源输出射频终端的相位、频率大小。射频电源馈入点位于设备腔室的极板上，并与射频电源的输出端一对一电性连接。本发明专利技术将多个低功率射频电源连接到极板的各个腔室馈入点上，叠加输出高功率射频到PECVD腔室，从而使腔室起辉，实现镀膜的效果。相比于使用单个高功率射频电源，具有镀膜更均匀、应用端更成熟、成本低的优势。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及pecvd设备领域，尤其是一种适用于pecvd设备的多射频电源输入系统。

技术介绍

1、太阳能光伏发电技术作为可再生清洁能源技术之一已成为世界各主要国家新能源发展战略的重要组成部分。太阳能光伏装机量逐年上升，已经形成势不可挡的发展热潮。异质结太阳能电池制备工艺步骤简单，工艺温度低，且产品具有发电量高、稳定性高、衰减低等优势，有可能成为下一代主流光伏电池之一。

2、异质结太阳能电池一般以n型单晶硅片为衬底，利用pecvd设备制备表面本征i层非晶硅钝化层，制备p型非晶硅/微晶硅薄膜形成pn结，以及n型非晶硅/微晶硅薄膜形成背场；pecvd设备是制备异质结电池的核心设备。随着异质结电池市场需求的增大，大尺寸大产能pecvd设备的市场需求也会随之增大，其对降低成本、规模化生产至关重要。但是，腔室尺寸加大后对设备硬件和工艺提出更高要求。特别是为了适应目前具有高转换效率的双面微晶电池技术，pecvd设备的电源功率密度要高，而现有pecvd设备往往由一台电源提供功率源，因此大尺寸大产能pecvd设备需要配置更高功率的电源。而高功率电源的使用存在本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种适用于PECVD设备的多射频电源输入系统，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的适用于PECVD设备的多射频电源输入系统，其特征在于：所述射频电源馈入点与射频电源的输出端之间均设置有一个阻抗匹配器，射频电源的输出端、阻抗匹配器、射频电源馈入点通过射频连接线依次连接。

3.根据权利要求2所述的适用于PECVD设备的多射频电源输入系统，其特征在于：所述射频电源馈入点均匀分布于设备腔室的极板上，每组阻抗匹配器与射频电源馈入点连接的射频线的材质、长度相同。

4.根据权利要求2所述的适用于PECVD设备的多射频电源输入系统，其特征在于：所述阻抗匹配...

【技术特征摘要】

1.一种适用于pecvd设备的多射频电源输入系统，其特征在于：包括：

2.根据权利要求1所述的适用于pecvd设备的多射频电源输入系统，其特征在于：所述射频电源馈入点与射频电源的输出端之间均设置有一个阻抗匹配器，射频电源的输出端、阻抗匹配器、射频电源馈入点通过射频连接线依次连接。

3.根据权利要求2所述的适用于pecvd设备的多射频电源输入系统，其特征在于：所述射频电源馈入点均匀分布于设备腔室的极板上，每组阻抗匹配器与射频电源馈入点连接的射频线的材质、长度相同。

4.根据权利要求2所述的适用于pecvd设备的多射频电源输入系统，其特征在于：所述阻抗匹配器包括阻抗匹配模块和阻抗调节模块；所述阻抗调节模块与阻抗匹配模块相连，实现向阻抗匹配模块反馈经阻抗匹配模块与极板阻抗之间的入射信号和反射信号对比后生成的调节信号；所述阻抗匹配模块根据阻抗调节模块反馈的调节信号进行匹配调节。

5.根据权利要求1所述的适用于pecvd设备的多射频电源输入系统，其特征在于：所述多路射频电源控制器包括电源模块以及分别与电源模块电性连接的频率发生器、相位调节模块和通道输出模块；所述频率发生器分别与各...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄文智，杨与胜，曾清华，程序，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：