一种X射线双镜系统的相对角度振动高精度测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种X射线双镜系统的相对角度振动高精度测量装置及方法。本装置包括激光器、聚焦单元、分光单元、反射镜、位置探测传感器和数据处理单元；激光器输出的光束经分光单元入射到待测量的双镜系统，依次经双镜系统的第一被测镜、第二被测镜反射到达反射镜；反射镜用于将入射光束反射到双镜系统，依次经第二被测镜、第一被测镜反射入分光单元；所述分光单元用于将经第一被测镜反射入的光束入射到聚焦单元，形成平行光并入射至位置敏感探测器；位置探测传感器用于根据接收的入射光束生成监测图像并发送给数据处理单元；数据处理单元用于根据监测图像、双镜系统的参数和焦距得到双镜系统的角度振动结果。本发明专利技术大大提高了相对角度振动精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光学系统，涉及一种x射线双镜系统的相对角度振动高精度测量装置及方法。

技术介绍

1、以角度量为代表的精密测量是精密制造装配领域的重要组成部分，在大型光学镜面制造装配中发挥重要作用。如在大型光学镜面制造装配中，巨型口径太阳望远镜反射镜面由多个镜面拼接得到，通过位移与倾斜角的检测可实现镜位姿的矫正。角度测量在同步辐射的镜面制造装配中应用广泛，同步辐射束线站分布着大量的光学元件，如欧洲同步辐射装置(european synchrotron radiation facility，esrf)的id16b光束线站包含调整光路位置的双白光镜(double white beam mirror,dwm)、将光源变为所需单色光的双晶单色器(double crystal monochromator,dcm)以及聚焦用的kb镜(krikpatrick-baezmirror)。为得到高纯度光谱，上海光源xafs光束线站包含高次谐波抑制镜。对于长度可达几十米的线站，微小的角度差异可导致出射光方向产生巨大偏移或光束效果产生剧烈偏差，因此高精度的角度测量对同步辐射线站光学仪本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种X射线双镜系统的相对角度振动高精度测量装置，其特征在于，包括激光器、聚焦单元、分光单元、反射镜、位置探测传感器和数据处理单元；所述聚焦单元与所述反射镜之间的光程为所述聚焦单元的焦距f；

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述数据处理单元首先根据所述监测图像获取光信号的位置偏移Δy，然后计算第一被测镜与第二被测镜的相对振动初值然后根据得到所述角度振动结果Δαfinal；其中，对误差公式Error(Δα)在零点处进行四阶泰勒展开得到f(△α)，所述误差公式

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述双镜系统越靠近所述聚焦单元，测量精度越高。...

【技术特征摘要】

1.一种x射线双镜系统的相对角度振动高精度测量装置，其特征在于，包括激光器、聚焦单元、分光单元、反射镜、位置探测传感器和数据处理单元；所述聚焦单元与所述反射镜之间的光程为所述聚焦单元的焦距f；

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述数据处理单元首先根据所述监测图像获取光信号的位置偏移δy，然后计算第一被测镜与第二被测镜的相对振动初值然后根据得到所述角度振动结果δαfinal；其中，对误差公式error(δα)在零点处进行四阶泰勒展开得到f(△α)，所述误差公式

3.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述双镜系统越靠近所述聚焦单元，测量精度越高。

4.根据权利要求1或2所述的装置，其特征在于，所述第一被测镜与所述第二被测镜的间隔δd越大，测量精度越...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖瑞颖，汤善治，
申请(专利权)人：中国科学院高能物理研究所，
类型：发明
国别省市：