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本发明公开了一种X射线双镜系统的相对角度振动高精度测量装置及方法。本装置包括激光器、聚焦单元、分光单元、反射镜、位置探测传感器和数据处理单元；激光器输出的光束经分光单元入射到待测量的双镜系统，依次经双镜系统的第一被测镜、第二被测镜反射到达反...
该专利属于中国科学院高能物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院高能物理研究所授权不得商用。

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