一种柔性接触MEMS力传感器制造技术

本发明专利技术公开了一种柔性接触MEMS力传感器，主要包括：镂空悬臂梁、质量块、衬底、压阻和金属引线、柔性接触MEMS力传感器表面包覆有柔性材料。其中压阻条布置在悬臂梁应力集中的根部位置，质量块和悬臂梁不等宽，当传感器的质量块受到来自皮肤表面传递的外力时，镂空悬臂梁发生形变，引起压敏电阻的阻值变化。悬臂梁采用镂空结构，不仅可以减小悬臂梁质量，更能促进应力集中，在同等外力作用时，增大压敏电阻的应力感知，提高传感器灵敏度。表面沉积一层柔性材料，可以保证贴附，提高可靠性。这种柔性接触MEMS力传感器的灵敏度高、精度高、生产工艺成熟、可大规模生产。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于mems传感器制造领域，具体涉及的是一种柔性接触mems力传感器。

技术介绍

1、血压是人体新陈代谢的主要参数，它的高低反应了人体心血管功能的健康情况，测量血压的及时性和准确性也直接影响到相应疾病的诊断及治疗。随着高血压患者数量的增加，高血压的防治已经成为一项严峻的挑战，目前已有的血压计测量血压的方式是阻隔血液流动、有间断性地测量，难以满足医疗领域对无间隔血压测量的需求。

2、传统的硅基压力传感器虽然有着精度高、可重复性好、可大规模生产的优点，但是由于其是刚性材料，难以测量弯曲复杂表面，在很多应用场景下难以使用。有机柔性压力传感器目前仍处于实验室阶段，迁移率和可重复性仍是限制其性能的两大重要因素。另一种方法是采用减薄硅基器件，并将其转移到柔性衬底上，借助弹性体实现其柔性且薄的特点，但是减薄的方法会使结构的可靠性降低，不能满足使用需求。本专利技术采用的是悬臂梁结构的柔性接触力传感器，不仅可以实现很高的灵敏度和精度，而且可以实现和皮肤表面的无间隙贴附。

3、传统血压计虽然已经深入市场的千家万户，但是偶测血压带来的误差较大，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种柔性接触MEMS力传感器，其特征在于，包含：衬底、质量块、悬臂梁、压敏电阻和金属引线；所述柔性接触MEMS力传感器表面包覆有柔性材料；所述质量块与悬臂梁宽度不同；所述质量块的宽度大于悬臂梁宽度，质量块的厚度大于或等于悬臂梁的厚度；所述悬臂梁上存在镂空结构；所述压敏电阻曲折分布在悬臂梁与衬底连接的根部位置，通过惠斯通全桥电路连接；。

2.根据权利要求1所述的柔性接触MEMS力传感器，其特征在于，所述衬底、质量块和悬臂梁是用同一片基板制备得到；所述压敏电阻按照惠斯通电桥设计并通过金属引线连接。

3.根据权利要求1所述的柔性接触MEMS力传感器，其特征在于，所述...

【技术特征摘要】

1.一种柔性接触mems力传感器，其特征在于，包含：衬底、质量块、悬臂梁、压敏电阻和金属引线；所述柔性接触mems力传感器表面包覆有柔性材料；所述质量块与悬臂梁宽度不同；所述质量块的宽度大于悬臂梁宽度，质量块的厚度大于或等于悬臂梁的厚度；所述悬臂梁上存在镂空结构；所述压敏电阻曲折分布在悬臂梁与衬底连接的根部位置，通过惠斯通全桥电路连接；。

2.根据权利要求1所述的柔性接触mems力传感器，其特征在于，所述衬底、质量块和悬臂梁是用同一片基板制备得到；所述压敏电阻按照惠斯通电桥设计并通过金属引线连接。

3.根据权利要求1所述的柔性接触mems力传感器，其特征在于，所述悬臂梁上的镂空结构为一个或多个方形；所述悬臂梁上压阻布置区域减薄，使悬臂梁成阶梯状结构。

4.根据权利要求1所述的柔性接触m...

【专利技术属性】
技术研发人员：周浩楠，张慧敏，李宋，张亚婷，
申请(专利权)人：北京智芯传感科技有限公司，
类型：发明
国别省市：