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本发明公开了一种柔性接触MEMS力传感器，主要包括：镂空悬臂梁、质量块、衬底、压阻和金属引线、柔性接触MEMS力传感器表面包覆有柔性材料。其中压阻条布置在悬臂梁应力集中的根部位置，质量块和悬臂梁不等宽，当传感器的质量块受到来自皮肤表面传递的...
该专利属于北京智芯传感科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京智芯传感科技有限公司授权不得商用。

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