加工装置制造方法及图纸

提供加工装置，简单且可靠地诊断搬送机构的吸盘的劣化，准确地掌握吸盘的适当的更换时期。在具有卡盘工作台(40)、加工构件(50)、搬送机构(70)以及诊断部(100)的切削装置中，搬送机构具有：搬送垫(74)，其具备具有弹力的吸盘(75)和使搬送垫升降的升降机构(71)，升降机构具有滚珠丝杠(714)、电动机(715)及检测电动机的负载电流值的负载电流值检测部(720)，在将吸盘推抵于接触面并使吸盘与吸引源(78)连通、并且使升降机构动作而使搬送垫从接触面上升规定的距离(Δh)时，在负载电流值检测部所检测出的负载电流值为预先设定的阈值以上的情况下，诊断部判定为吸盘正常，在负载电流值未达到阈值的情况下，诊断部判定为吸盘异常。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及具有通过吸盘对晶片等被加工物进行吸引保持并搬送的搬送机构的加工装置。

技术介绍

1、例如，在对较薄的圆板状的晶片进行加工的加工装置中，通过搬送机构对将带粘贴于环状框架和晶片而得到的工件组进行吸引保持，并向规定的位置搬送。这里，搬送机构具有：搬送垫，其具有与工件组的环状框架的上表面紧贴并吸引该环状框架的橡胶制的多个吸盘；升降机构，其使该搬送垫升降；以及吸引源，其吸引该吸盘(例如，参照专利文献1)。

2、在这样的搬送机构中，通过使设置于搬送垫的多个吸盘与吸引源连通，在各吸盘产生吸引力(负压)，从而对工件组进行吸引保持。

3、但是，如果吸盘劣化而弹力(柔软性)降低，就会在该吸盘与工件组的环状框架之间产生微小的间隙，空气从该间隙漏出(泄漏)，从而吸盘不会产生充分的吸引力。因此，会产生在搬送中途工件组从搬送垫落下，在该工件组中被带粘贴于环状框架的晶片发生破损的问题。

4、专利文献1：日本特开2019-057618号公报

5、然而，目前，并未确立诊断吸盘的劣化的方法，例如无法准确地掌握吸盘的适当的更换时期。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工构件，其对保持于该保持面的被加工物进行加工；搬送机构，其将被加工物相对于该保持面进行搬入或搬出；以及诊断部，其中，

2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

3.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

4.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

5.根据权利要求1所述的加工装置，其中，

【技术特征摘要】

1.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工构件，其对保持于该保持面的被加工物进行加工；搬送机构，其将被加工物相对于该保持面进行搬入或搬出；以及诊断部，其中，

...

【专利技术属性】
技术研发人员：庄司启一，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：