【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及具有通过吸盘对晶片等被加工物进行吸引保持并搬送的搬送机构的加工装置。
技术介绍
1、例如，在对较薄的圆板状的晶片进行加工的加工装置中，通过搬送机构对将带粘贴于环状框架和晶片而得到的工件组进行吸引保持，并向规定的位置搬送。这里，搬送机构具有：搬送垫，其具有与工件组的环状框架的上表面紧贴并吸引该环状框架的橡胶制的多个吸盘；升降机构，其使该搬送垫升降；以及吸引源，其吸引该吸盘(例如，参照专利文献1)。
2、在这样的搬送机构中，通过使设置于搬送垫的多个吸盘与吸引源连通，在各吸盘产生吸引力(负压)，从而对工件组进行吸引保持。
3、但是，如果吸盘劣化而弹力(柔软性)降低，就会在该吸盘与工件组的环状框架之间产生微小的间隙，空气从该间隙漏出(泄漏)，从而吸盘不会产生充分的吸引力。因此，会产生在搬送中途工件组从搬送垫落下，在该工件组中被带粘贴于环状框架的晶片发生破损的问题。
4、专利文献1：日本特开2019-057618号公报
5、然而，目前，并未确立诊断吸盘的劣化的方法，例如无法准确地掌握吸盘的适当的更换时期。因此，可能会发生如下的浪费情况：尽管是仍然能够充分使用的吸盘，但还是将该吸盘更换为新的吸盘。
技术实现思路
1、本专利技术是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供能够简单且可靠地诊断搬送机构的吸盘的劣化(正常还是异常)，从而准确地掌握吸盘的适当的更换时期的加工装置。
2、用于实现上述目的的本专利技术是加工装置，其具有：卡
3、根据本专利技术，在使吸盘75与能够吸引的框引导件30的接触面接触并使该吸盘75与吸引源78连通的状态(使吸盘75吸附于框引导件30的接触面的状态)下，在使升降机构71进行动作而使搬送垫74从框引导件30的接触面上升规定的距离δh时，在负载电流值检测部720所检测出的电动机715的负载电流值i为预先设定的阈值ith以上的情况(i≧ith)下，诊断部100诊断为吸盘75正常，在负载电流值i未达到阈值ith的情况(i＜ith)下，诊断部100诊断为吸盘75异常，因此得到了能够简单且可靠地诊断第1搬送机构70的吸盘75的劣化(正常还是异常)，从而准确地掌握该吸盘75的适当的更换时期的效果。
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1.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工构件，其对保持于该保持面的被加工物进行加工；搬送机构，其将被加工物相对于该保持面进行搬入或搬出；以及诊断部，其中，
2.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
3.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
4.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
5.根据权利要求1所述的加工装置，其中，
【技术特征摘要】
1.一种加工装置，其具有：卡盘工作台，其利用保持面对被加工物进行保持；加工构件，其对保持于该保持面的被加工物进行加工；搬送机构，其将被加工物相对于该保持面进行搬入或搬出；以及诊断部，其中，
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